MEMS A NEMS PRESSURE SENSORS

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F11%3APU94985" target="_blank" >RIV/00216305:26220/11:PU94985 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
SENZORY TLAKU TYPU MEMS A NEMS
Original language description
Cílem práce je výzkum možností využití moderních nanotechnologií v nových senzorech tlaku. Především se jedná o kapacitní senzor tlaku typu MEMS. A emisní senzor tlaku NEMS, u něhož se k emisi elektronů používá polí uhlíkových nanotrubic. Jsou prováděnydůkladné rozbory analýzy vlastností těchto řešení s podrobným popisem uplatňovaných fyzikálních principů. Tyto analýzy jsou podpořeny výpočetními modely a měřením jsou ověřeny výsledné parametry.
Czech name
SENZORY TLAKU TYPU MEMS A NEMS
Czech description
Cílem práce je výzkum možností využití moderních nanotechnologií v nových senzorech tlaku. Především se jedná o kapacitní senzor tlaku typu MEMS. A emisní senzor tlaku NEMS, u něhož se k emisi elektronů používá polí uhlíkových nanotrubic. Jsou prováděnydůkladné rozbory analýzy vlastností těchto řešení s podrobným popisem uplatňovaných fyzikálních principů. Tyto analýzy jsou podpořeny výpočetními modely a měřením jsou ověřeny výsledné parametry.

Project
Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2011
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Odborný seminář organizovaný International Microelectronics and Packaging Society. Sborník příspěvků
ISBN
978-80-214-4404-1
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
4
Pages from-to
21-24
Publisher name
NOVPRESS s.r.o.
Place of publication
Brno
Event location
Horní Bečva
Event date
May 19, 2011
Type of event by nationality
CST - Celostátní akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)