Bolometer membrane for IR detection

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F16%3APR28806" target="_blank" >RIV/00216305:26220/16:PR28806 - isvavai.cz</a>
Result on the web
<a href="http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=124" target="_blank" >http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=124</a>
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Membrána bolometru pro detekci IR záření
Original language description
Membrána bolometru pro detekci IR záření je vyrobena na křemíkovém substrátu pomocí CMOS kompatibilních procesů. Nejdůležitější snímací část je tvořena se z membrány (SiO2), uvnitř které je integrován odporový meandr (Ti). Při dopadu IR záření na snímací element dojde k jeho ohřátí, a to vyvolá změnu odporu. Tepelné ztráty do substrát jsou minimalizovány díky tenkým nohám, na kterých je membrána zavěšena.
Czech name
Membrána bolometru pro detekci IR záření
Czech description
Membrána bolometru pro detekci IR záření je vyrobena na křemíkovém substrátu pomocí CMOS kompatibilních procesů. Nejdůležitější snímací část je tvořena se z membrány (SiO2), uvnitř které je integrován odporový meandr (Ti). Při dopadu IR záření na snímací element dojde k jeho ohřátí, a to vyvolá změnu odporu. Tepelné ztráty do substrát jsou minimalizovány díky tenkým nohám, na kterých je membrána zavěšena.

Project
Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2016
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID
Bolometr 1. generace
Numerical identification
129405
Technical parameters
Velikost membrány: 40x40 µm Odpor bolometru: (7.735 ± 0.254) kΩ Teplotní součinitel elektrického odporu: (0.53 ± 0.01) 10-3 K-1 Tepelná kapacita: (3.113 ± 0.009) nJ K-1 Teplotní vodivost: (160.9 ± 2.7) nW K-1 Časová konstanta: (19.35 ± 0.34) ms Funkční vzorek byl na základě získaných poznatků zkonstruován a ověřen. Je využíván na pracovišti řešitele LabSensNano (VUT v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, Ústav mikroelektroniky, Technická 3058/10, 616 00 Brno, Česká republika).
Economical parameters
náklady na výrobu cca 500 000 Kč
Application category by cost
—
Owner IČO
—
Owner name
oddělení-MEL-SIX
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=124

Similar results(10)