Investigation of RF low-temperature discharge by OES and GC-MS during deposition of silane based thin films
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26310%2F04%3APU47576" target="_blank" >RIV/00216305:26310/04:PU47576 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Investigation of RF low-temperature discharge by OES and GC-MS during deposition of silane based thin films
Original language description
Práce podává přehled identifika hlavních spektrálních čar a pásů měřených během depozice s užitím HMDSO a TVS. Depoziční proces probíhal v pulsním režimu s proměnnou délkou pulsu. Kromě čistých monoměrů byla užívána i příměs kyslíku. Byly pozorovány změny v závoslosti na délce pulsu a složení reakční směsi. Složení plynu vystupujícího z plazmatu bylo sledováno pomocí GC-MS pro níž byly odebírány vzorky metou cold trap. Podařilo se zjistit dosud neznámou sloučeninu a byly navrženy možné reakční mechanismmy vedoucí k jejímu vzniku.
Czech name
Optická emisní spektroskopie a GC-MS nízkoteplotního RF výboje během depozice tenkých vrstev silanu
Czech description
Our work deals with the identification of the main spectral lines and bands measured during the plasma deposition using hexamethyldisiloxane (HMDSO) and tetravinylsilane (TVS) as monomers. The deposition processes were carried out in a pulsed regime witha variable relative pulse duration. At first, the pure monomers were used, furthermore, TVS was mixed in various ratios with oxygen. The changes in intensities and characters of spectra with an increasing of pulse duration and with an increasing of oxyygen presence in the working gas mixture has been observed and they are different for some groups of the identified species. In the last part of experiment, exhaust gas was investigated by the gas-chromatography coupled with the mass spectrometry (GC-MS)technique. A new compound or fragment has been observed and the possible reaction schemes are given and briefly discussed.
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
BL - Plasma physics and discharge through gases
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/GD202%2F03%2FH162" target="_blank" >GD202/03/H162: Advanced topics in physics and chemistry of plasmas</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2004
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
Proceedings of Week of Doctoral Students
ISBN
80-86732-32-0
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
6
Pages from-to
367-372
Publisher name
Matfyzpress
Place of publication
Praha
Event location
Praha
Event date
Jun 15, 2004
Type of event by nationality
EUR - Evropská akce
UT code for WoS article
—