All

What are you looking for?

All
Projects
Results
Organizations

Quick search

  • Projects supported by TA ČR
  • Excellent projects
  • Projects with the highest public support
  • Current projects

Smart search

  • That is how I find a specific +word
  • That is how I leave the -word out of the results
  • “That is how I can find the whole phrase”

Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát

The result's identifiers

  • Result code in IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26620%2F12%3APR26407" target="_blank" >RIV/00216305:26620/12:PR26407 - isvavai.cz</a>

  • Result on the web

    <a href="http://www.umel.feec.vutbr.cz/vyzkum/vysledky/funkcni-vzorky/pekarek-fv-pvdholder.pdf" target="_blank" >http://www.umel.feec.vutbr.cz/vyzkum/vysledky/funkcni-vzorky/pekarek-fv-pvdholder.pdf</a>

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternative languages

  • Result language

    čeština

  • Original language name

    Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát

  • Original language description

    Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát. Díky široké škále šablon je možné na křemíkové substráty napařovat či naprašovat různé typy materiálů (Fe, Au, Ti, Al, Ta, NiCr a další) různých tvarů.

  • Czech name

    Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát

  • Czech description

    Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát. Díky široké škále šablon je možné na křemíkové substráty napařovat či naprašovat různé typy materiálů (Fe, Au, Ti, Al, Ta, NiCr a další) různých tvarů.

Classification

  • Type

    G<sub>funk</sub> - Functional sample

  • CEP classification

    JA - Electronics and optoelectronics

  • OECD FORD branch

Result continuities

  • Project

    Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.

  • Continuities

    S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Others

  • Publication year

    2012

  • Confidentiality

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Data specific for result type

  • Internal product ID

    PVD holder

  • Numerical identification

  • Technical parameters

    Funkční vzorek byl na základě získaných poznatků zkonstruován a ověřen. Je využíván na pracovišti řešitele (VUT v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, Ústav mikroelektroniky, Technická 3058/10, 616 00 Brno, Česká republika) Určeno pro napařování či naprašování materiálů na Si substrát. Duralový přípravek a měděná šablona tloušťky 150um.

  • Economical parameters

    Vývoj 10 tis. Kč, know-how 20 tis. Kč

  • Application category by cost

  • Owner IČO

    00216305

  • Owner name

    Středoevropský technologický institut VUT

  • Owner country

    CZ - CZECH REPUBLIC

  • Usage type

    N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

  • Licence fee requirement

  • Web page