Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26620%2F12%3APR26407" target="_blank" >RIV/00216305:26620/12:PR26407 - isvavai.cz</a>
Result on the web
<a href="http://www.umel.feec.vutbr.cz/vyzkum/vysledky/funkcni-vzorky/pekarek-fv-pvdholder.pdf" target="_blank" >http://www.umel.feec.vutbr.cz/vyzkum/vysledky/funkcni-vzorky/pekarek-fv-pvdholder.pdf</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát
Original language description
Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát. Díky široké škále šablon je možné na křemíkové substráty napařovat či naprašovat různé typy materiálů (Fe, Au, Ti, Al, Ta, NiCr a další) různých tvarů.
Czech name
Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát
Czech description
Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát. Díky široké škále šablon je možné na křemíkové substráty napařovat či naprašovat různé typy materiálů (Fe, Au, Ti, Al, Ta, NiCr a další) různých tvarů.
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.
Continuities
S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Others
Publication year
2012
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
PVD holder
Numerical identification
—
Technical parameters
Funkční vzorek byl na základě získaných poznatků zkonstruován a ověřen. Je využíván na pracovišti řešitele (VUT v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, Ústav mikroelektroniky, Technická 3058/10, 616 00 Brno, Česká republika) Určeno pro napařování či naprašování materiálů na Si substrát. Duralový přípravek a měděná šablona tloušťky 150um.
Economical parameters
Vývoj 10 tis. Kč, know-how 20 tis. Kč
Application category by cost
—
Owner IČO
00216305
Owner name
Středoevropský technologický institut VUT
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licence fee requirement
—
Web page
—