Precursor inlet into CVD reactor

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26620%2F23%3APR38739" target="_blank" >RIV/00216305:26620/23:PR38739 - isvavai.cz</a>
Result on the web
<a href="http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/custom-cvd-showerhead?stage=Stage" target="_blank" >http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/custom-cvd-showerhead?stage=Stage</a>
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Prekurzorový vstup do reaktoru
Original language description
Difuzor z nerezové oceli pro rovnoměrnou distribuci plynů v CVD aparatuře, se vstupy se Swagelok koncovkou.
Czech name
Prekurzorový vstup do reaktoru
Czech description
Difuzor z nerezové oceli pro rovnoměrnou distribuci plynů v CVD aparatuře, se vstupy se Swagelok koncovkou.

Project
<a href="/en/project/FW06010019" target="_blank" >FW06010019: Production of optical components by chemical vapor deposition and Atomic Layer Deposition methods</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2023
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID
CVD difuzor
Numerical identification
187506
Technical parameters
nerezová ocel, Swagelok vstupy
Economical parameters
nepředpokládá se ekonomické zhodnocení, je využíváno v projektu
Application category by cost
—
Owner IČO
00216305
Owner name
Vysoké učení technické v Brně
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
V - Výsledek je využíván vlastníkem
Licence fee requirement
N - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
Web page
http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/custom-cvd-showerhead?stage=Stage

Result description