Verified technology of antireflection coating fabrication optimized for 266 nm

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26620%2F24%3APR40059" target="_blank" >RIV/00216305:26620/24:PR40059 - isvavai.cz</a>

Alternative codes found

RIV/19196661:_____/24:N0000003

Result on the web

<a href="https://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2025-ovena-technologie-pipravy-antireflexni-vrstvy-pro-vlnovou-delku-266-nm-/" target="_blank" >https://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2025-ovena-technologie-pipravy-antireflexni-vrstvy-pro-vlnovou-delku-266-nm-/</a>

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Ověřená technologie přípravy antireflexní vrstvy pro vlnovou délku 266 nm

Original language description

Ověřená technologie přípravy antireflexní vrstvy pro vlnovou délku 266 nm pomocí depozice dielektrických vrstev technologií depozice z pevné fáze (PVD) a depozicí atomárních vrstev (ALD). U metody PVD jde technologii napařování pomocí elektronového děla s podporou plasmového děla (Advanced Plasma Source).

Czech name

Ověřená technologie přípravy antireflexní vrstvy pro vlnovou délku 266 nm

Czech description

Ověřená technologie přípravy antireflexní vrstvy pro vlnovou délku 266 nm pomocí depozice dielektrických vrstev technologií depozice z pevné fáze (PVD) a depozicí atomárních vrstev (ALD). U metody PVD jde technologii napařování pomocí elektronového děla s podporou plasmového děla (Advanced Plasma Source).

Type

Z_tech - Verified technology

CEP classification

—

OECD FORD branch

20506 - Coating and films

Project

<a href="/en/project/FW06010019" target="_blank" >FW06010019: Production of optical components by chemical vapor deposition and Atomic Layer Deposition methods</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2024

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID

Trend Meopta vysledek FW06010019

Numerical identification

Dokumentace výsledku_FW06010019-V2

Technical parameters

Připravený optický prvek před procesem vrstvení projde:  Mytím, kontrolou čistoty, vizuální kontrolou. Dočištěním liho-étherovou směsí, popř. acetonem. Vložením do zavrstvených kalot.  Závozem do procesní komory depozičního zařízení.  Depoziční proces PVD se skládá z:  Očištění povrchu O2 plasmatem nebo iontovým zdrojem po stanovenou dobu (> 60 sekund), popřípadě zbavení organické kontaminace očištěním v UVO (ozonové čištění). Následné depozice (unikátní číslo programu) s definovanými procesními kroky (předehřátí komory, postupný start jednotlivých depozičních zdrojů, čerpání na mezní hodnotu vakua). Chladnutí, postupné vytažení. Spektrální kontroly – měření odrazivosti včetně testovacích klínů. Kontroly čistoty optického prvku.  Depoziční proces ALD se skládá z:  Zbavení se organické kontaminace očištěním v UVO (ozonové čištění). Následné depozice (unikátní číslo programu) s definovanými procesními kroky (předehřátí komory, postupný start jednotlivých depozičních zdrojů, čerpání na mezní hodnotu vakua) - viz diagram na schématu 1. Chladnutí, postupné vytažení. Spektrální kontroly – měření propustnosti navrstvených svědečných skel. Kontroly čistoty optického prvku.

Economical parameters

Zatím se nepředpokládá komercionalizace, funkční vzorek slouží pro interní potřeby VUT a Meopta (partner projektu, spoluautori vysledku), mezi kterými je sdílen dle aktuální potřeby.

Application category by cost

—

Owner IČO

00216305

Owner name

Vysoké učení technické v Brně

Owner country

CZ - CZECH REPUBLIC

Usage type

V - Výsledek je využíván vlastníkem

Licence fee requirement

A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

Web page

https://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2025-ovena-technologie-pipravy-antireflexni-vrstvy-pro-vlnovou-delku-266-nm-/