Proven technology - sensor structures

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00375306%3A_____%2F14%3A%230000009" target="_blank" >RIV/00375306:_____/14:#0000009 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Ověřená technologie - senzorové struktury

Original language description

Byly navrženy a realizovány planární senzorové struktury pro měření elektrických vlastností vrstev z uhlíkových nanostruktur: 1. Interdigitální elektrodový systém s šířkou mezery 20 až 500 ?m z tenké vrstvy platiny nebo zlata, s vývody, které odolávají teplotám nanášení vrstev, měření a odplyňování při činnosti senzorů plynů. 2. Kombinovaný senzor zahrnující interdigitální elektrodový systém, senzor teploty a topný článek. Byla navržena technologie výroby těchto struktur v čistých prostorech a praktickyověřena za využití magnetronového naprašování vrstev Pt nebo NiCr/Ni/Au, oboustranné fotolitografie za využití techniky lift-off, tepelného zpracování, trimování odporu senzoru teploty laserem, sítotisku krycích past, řezání diamantovou pilou a připojením vývodů typu SIL. Hotové výrobky jsou podrobeny řadě měření a testů včetně funkčních.

Czech name

Ověřená technologie - senzorové struktury

Czech description

Byly navrženy a realizovány planární senzorové struktury pro měření elektrických vlastností vrstev z uhlíkových nanostruktur: 1. Interdigitální elektrodový systém s šířkou mezery 20 až 500 ?m z tenké vrstvy platiny nebo zlata, s vývody, které odolávají teplotám nanášení vrstev, měření a odplyňování při činnosti senzorů plynů. 2. Kombinovaný senzor zahrnující interdigitální elektrodový systém, senzor teploty a topný článek. Byla navržena technologie výroby těchto struktur v čistých prostorech a praktickyověřena za využití magnetronového naprašování vrstev Pt nebo NiCr/Ni/Au, oboustranné fotolitografie za využití techniky lift-off, tepelného zpracování, trimování odporu senzoru teploty laserem, sítotisku krycích past, řezání diamantovou pilou a připojením vývodů typu SIL. Hotové výrobky jsou podrobeny řadě měření a testů včetně funkčních.

Type

Z_tech - Verified technology

CEP classification

JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/TA03010037" target="_blank" >TA03010037: Carbon nanostructures for sensor applications.</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2014

Confidentiality

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Internal product ID

Senzorové struktury BI2C a KBI2C

Numerical identification

—

Technical parameters

TB-BI2C -NiCr/Ni/Au interdigitální elektrodový systém pro senzory plynů na Al2O3. Topologie na aktivní ploše 4,3 x 4,5 mm2 odpovídá délce elektrody 400 mm a šířce mezery 200 ?m. Izolační odpor mezi elektrodami je řádu M?. Na kontakty jsou přivařeny Ag přívody o ? 0,25 mm. Pracovní teploty -30 °C až +200 °C. TB-KBI2C -Na Al2O3 substrátu 7,5 mm x 5,6 mm jsou oboustranně vytvořeny Pt motivy. Na lícové straně je interdigitální elektroda s mezerou 200 ?m a na rubové vyhřívací element a odporová dráha šířky 30 ?m laserově nastavená na 1000 ? s TKR 3850 ppm/K a je chráněna skelnou vrstvou. Kombinovaný systém je opatřen vývody typu SIL. Pracovní teploty je -30 °C až +200 °C. Výsledku bylo dosaženo ve druhém roce řešení projektu. Uživatelem výsledku projektu bude TESLA BLATNÁ, a.s. Smlouva o využití výsledku s poskytovatelem TA ČR bude uzavřená v zákonné lhůtě. statutární zástupce - Jan Kalous, tel.č.: 383 415 210, řešitel projektu: Ing. Pavol Ozaňák, tel.č.: 383415366

Economical parameters

Výsledek Senzorové struktury- ověřená technologie umožní zvýšení ročního objemu výroby senzorů o 22%, zvýšení zisku z výroby senzorů o 15%. Při využívání této ověřené technologie dojde k úspoře výrobních nákladů při výrobě senzorů BI2C a KBI2C oproti stávající technologii o 18 %.

Application category by cost

—

Owner IČO

00375306

Owner name

TESLA Blatná, a.s.

Owner country

CZ - CZECH REPUBLIC

Usage type

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licence fee requirement

A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

Web page

—