Beam splitter in DUV region
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F19196661%3A_____%2F24%3AN0000004" target="_blank" >RIV/19196661:_____/24:N0000004 - isvavai.cz</a>
Alternative codes found
RIV/68081731:_____/24:00602561
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Dělič svazku pro DUV oblast
Original language description
Binární fázový difrakční optický element byl navržen jako dělič svazku s vysokým počtem užitečných difrakčních řádů pro vlnovou délku dopadajícího světla 266 nm. Vzorek obsahuje struktury s různou střídou pro dosažení minimální účinnosti v 0. difrakčním řádu. Vzorek byl připraven pomocí elektronové litografie a reaktivního iontového leptání do materiálu fused silica. Na obě strany vzorku byla nanesena antireflexní vrstvy pro minimalizaci ztrát na rozhraní substrátu a vzduchu.
Czech name
Dělič svazku pro DUV oblast
Czech description
—
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
—
OECD FORD branch
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TN02000020" target="_blank" >TN02000020: Centre of Advanced Electron and Photonic Optics</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2024
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data specific for result type
Internal product ID
MEO_NCK2-DP0035-04_2024_GFUNK1
Numerical identification
—
Technical parameters
Fázový difrakční optický element připravený v materiálu fused silica sloužící jako mnohonásobný dělič svazku pro DUV oblast
Economical parameters
Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení.
Application category by cost
—
Owner IČO
68081731, 19196661
Owner name
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i., Meopta s.r.o.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
—