MIR Laser amplification module with emission in the range of 1.475 - 1.495 μm
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F25296558%3A_____%2F21%3AN0000001" target="_blank" >RIV/25296558:_____/21:N0000001 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
MIR laserový zesilovací modul s emisí v oblasti 1.475 - 1.495 um
Original language description
Jedná se o funkční vzorek modulárního laserového pevnolátkového pulsního zesilovače emitujícího ve střední infračervené oblasti (MIR) se stř. výstupním výkonem do 5 W, optickou soustavou pro signální i budicí svazek a zdrojem budicího signálu. Předmětný modul bude subkomponentou DUV KrF laserového systému pro litografii komercializovaného firmou Gigaphoton, popř. základem uživatelsky modifikovaných verzí MIR pulsních systémů vyvíjených centrem Hilase pro biomedicínské a průmyslové aplikace.
Czech name
MIR laserový zesilovací modul s emisí v oblasti 1.475 - 1.495 um
Czech description
—
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
—
OECD FORD branch
20501 - Materials engineering
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TM01000033" target="_blank" >TM01000033: Development of DUV seed laser for semiconductor lithography using solid-state laser amplifier at 1485 nm</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2021
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data specific for result type
Internal product ID
TM01000033-V1
Numerical identification
TM01000033-V1
Technical parameters
Navržený funkční vzorek je schopen zesilování laserového záření v infračervené oblasti spektra s maximem v okolí vlnové délky 1.45 um. Pokrývá tak laserovou emisi ve spektrální oblasti, kde není dostupný žádný alternativní aktivní materiál vykazující zisk na bázi stimulované emise. Alternativou je využití nelineárně optických parametrických zesilovačů (OPA), které jsou ale technologicky komplikované a obvykle vykazují podstatně menší stabilitu výstupních parametrů. Předložené řešení je založeno na Cr4+:YAG laserovém zesilovači buzeném nanosekundovým Yb:YAG laserem. S uvedenou technologií bylo dosaženo zisku na jeden průchod laserovou tyčí 1,1, což umožňuje při využití geometrie regenerativního zesilovače dosažení požadovaného zisku 5 a energie výstupních pulsů v oblasti stovek µJ.
Economical parameters
Předmětný modul bude subkomponentou DUV KrF laserového systému pro litografii komercializovaného firmou Gigaphoton (viz Common proposal). Dle časového plánu firmy Gigaphoton Inc. bude modul vyvinutý během projektu postupně implementován do prototypů KrF litografického systému s pevnolátkovým front-endem, masová produkce se předpokládá od roku 2023. Exkluzivním dodavatelem modulu pro Gigaphoton bude Crytur s.r.o. Alternativně bude modul základem uživatelsky modifikovaných verzí MIR pulsních systémů vyvíjených v rámci komerčních aktivit centrem Hilase pro vědecké, biomedicínské a průmyslové aplikace. Modul bude také dle předpokladu zařazen od let 2022/2023 do nabídky firmy Crytur jako samostatný funkční modul kavity MIR laseru. Hlavním přínosem je zvýšení obratu firmy a budoucí konkurenceschopnosti. Budoucí komerční využití je v oblasti polovodičového průmyslu a biomedicíny.
Application category by cost
—
Owner IČO
25296558
Owner name
CRYTUR, spol. s r.o.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
—