Research on mathematical model of thermal node and its control algorithm
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F26218445%3A_____%2F10%3A%230000001" target="_blank" >RIV/26218445:_____/10:#0000001 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Výzkum matematického modelu tepelného uzlu a algoritmu jeho řízení
Original language description
Tepelný uzel v zařízeních pro atmosférické a LPCVD procesy ve výrobě polovodičů je tvořen válcovitou, horizontálně uloženou topnou kazetou, měřicími trasami pro kontrolu teploty a řídícím procesorem. Další technické zdokonalení tohoto uzlu je podmíněno výzkumem, jehož výstupem je matematický model teplotního pole topné kazety a z něj odvozeným algoritmem řízení.
Czech name
Výzkum matematického modelu tepelného uzlu a algoritmu jeho řízení
Czech description
Tepelný uzel v zařízeních pro atmosférické a LPCVD procesy ve výrobě polovodičů je tvořen válcovitou, horizontálně uloženou topnou kazetou, měřicími trasami pro kontrolu teploty a řídícím procesorem. Další technické zdokonalení tohoto uzlu je podmíněno výzkumem, jehož výstupem je matematický model teplotního pole topné kazety a z něj odvozeným algoritmem řízení.
Classification
Type
Z<sub>tech</sub> - Verified technology
CEP classification
JP - Industrial processes and processing
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/FI-IM4%2F165" target="_blank" >FI-IM4/165: Research, development and production of inovated temperature and chemical parts of furnaces for diffusion and LPCVD processes in Semiconductor industry.</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2010
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
SV_FUR_LPCVD
Numerical identification
—
Technical parameters
Byla vytvořena 2 pracovní místa ? vývoj SW a HW řídících systémů. V 2011 vytvoření 1 místa pro budované pracoviště kalibrační laboratoře pro termočlánky. Zavedení výroby tepelně izolačních prvků dle návrhu a dokumentace od SVCS v kooperaci v rámci ČR
Economical parameters
Finanční efekt za 2009 a 2010 činí navýšení obratu, v segmentu výrobků a služeb s nimi spojených o 1,8 mil. Kč
Application category by cost
—
Owner IČO
26218445
Owner name
SVCS s.r.o.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licence fee requirement
—
Web page
—