General methodology of the input gas flow rate recalculation for various types of SVCS reactors for phosphorus diffusion and according to the number and size of Si substrates
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F27711170%3A_____%2F12%3A%230000013" target="_blank" >RIV/27711170:_____/12:#0000013 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Obecná metodika přepočtů průtoků jednotlivých plynů pro různé typy SVCS reaktorů fosforové difúze a počtu a velikosti křemíkových desek a typů křemenných lodiček pro procesy fosforové difúze
Original language description
Společnost SVCS vyrábí zákaznické typy diffúzních vysokoteplotních reaktorů, které dodává včetně "know-how" potřebných pro jejich provoz a získání požadovaných výsledků. Reaktory se liší velikostí (průměr křemenné trubky, délka "flat" zóny, systémem odsávání zplodin), ale rozdíl je i ve velikosti a počtu zpracovávaných Si substrátů. Na základě modelovacích experimentů (SW Flow Simulation a CFD ACE+) a ověřením testovacích procesů ve dvou různých konfiguracích reaktorů fosforové difúze vznikla metodika pro přepočet nastavení průtoků jednotlivých plynných složek vpouštěných do daného typu reaktoru.
Czech name
Obecná metodika přepočtů průtoků jednotlivých plynů pro různé typy SVCS reaktorů fosforové difúze a počtu a velikosti křemíkových desek a typů křemenných lodiček pro procesy fosforové difúze
Czech description
Společnost SVCS vyrábí zákaznické typy diffúzních vysokoteplotních reaktorů, které dodává včetně "know-how" potřebných pro jejich provoz a získání požadovaných výsledků. Reaktory se liší velikostí (průměr křemenné trubky, délka "flat" zóny, systémem odsávání zplodin), ale rozdíl je i ve velikosti a počtu zpracovávaných Si substrátů. Na základě modelovacích experimentů (SW Flow Simulation a CFD ACE+) a ověřením testovacích procesů ve dvou různých konfiguracích reaktorů fosforové difúze vznikla metodika pro přepočet nastavení průtoků jednotlivých plynných složek vpouštěných do daného typu reaktoru.
Classification
Type
N<sub>metC</sub> - Methodology certified by the authorised body
CEP classification
BM - Solid-state physics and magnetism
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TA01020972" target="_blank" >TA01020972: Modification of the particular technology facilities of the batch processes for the yield enhancement of the highly efficient silicon solar cells using the numerical and physical pre- and post-processing models CFD-ACE+ and Flow Simulation.</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2012
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data specific for result type
Internal product ID
SVOMPPPFD_SOL_01
Regulation ID
A-2012-12-13-SVOMPPPFD_SOL_01
Technical parameters
Přepočtová metodika vycházející jak z modelovacích, tak experimentálně ověřených výsledků markantně zrychluje odladění požadovaných procesů na nových zákaznických typech reaktorů.
Economical parameters
Metodika urychluje odladění nainstalovaných vysokoteplotních reaktorů u jednotlivých zákazníků, čímž zkracuje celkovou dobu instalace a tím zároveň zvyšuje kredit společnosti SVCS.
Certification body designation
SVCS Process Innovation s.r.o., Na Potůčkách 163, Valašské Meziříčí 757 01
Date of certification
—
Method of use
C - Výsledek je využíván bez omezení okruhu uživatelů