A reactor prototype for dry and wet oxidation of 5 nad 6 inched Si wafors including all components (baffles, quartz boats, injector and extractor)

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F27711170%3A_____%2F12%3A%230000018" target="_blank" >RIV/27711170:_____/12:#0000018 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Prototyp reaktoru pro suchou a vlhkou oxidaci 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor)

Original language description

Vytvoření prototypu reaktoru pro suchou a vlhkou oxidaci 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor) pro dosažení homogenity požadované tloušťky vrstvy SiO2 po ploše jednotlivých desek v celé zpracovávané dávce.

Czech name

Prototyp reaktoru pro suchou a vlhkou oxidaci 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor)

Czech description

Vytvoření prototypu reaktoru pro suchou a vlhkou oxidaci 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor) pro dosažení homogenity požadované tloušťky vrstvy SiO2 po ploše jednotlivých desek v celé zpracovávané dávce.

Type

G_prot - Prototype

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/TA01020972" target="_blank" >TA01020972: Modification of the particular technology facilities of the batch processes for the yield enhancement of the highly efficient silicon solar cells using the numerical and physical pre- and post-processing models CFD-ACE+ and Flow Simulation.</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2012

Confidentiality

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Internal product ID

SVROX_01

Numerical identification

—

Technical parameters

Ověření možnosti jednotného designu pecí pro suchou a vlhkou oxidaci Si desek. Ověření kvality (pasivačních vlastností pro n-typové i p-typové povrchy) a rychlosti růstu oxidových vrstev v závislosti na teplotě, úrovni povrchové koncentrace dopantů a ředění koncentrace vodní páry v reaktoru přidáním dusíku a kyslíku. Ověření vlivu růstových parametrů SiO2 vrstvy na výsledné optické a elektrické vlastnosti testovacích solárních článků. Ověření použití designu dvojvrstvé ARC pasivační vrstvy s tloušťkou 25 až 30 nm (ve spojení s další tenkou vrstvou na bázi Si3N4 s tloušťkou 40 až 50 nm) v procesu výroby solárních článků s vysokou účinností.

Economical parameters

V případě implementace ověřené technolopie pro vysokoteplotní suchou a mokrou oxidaci na strukturách křemíkových solárních článků do vysokoteplotních pecí SVFur společně s metodikami pro přípravu substrátů a vytváření těchto vrstev se předpokládá 7% nárůst prodeje v segmentu oxidačních reaktorů společností SVCS Process Innovation s.r.o.

Application category by cost

—

Owner IČO

27711170

Owner name

SVCS Process Innovation s.r.o.

Owner country

CZ - CZECH REPUBLIC

Usage type

P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence

Licence fee requirement

Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek

Web page

—