A prototype of control system for vertical PECVD furnace

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F27711170%3A_____%2F12%3A%230000029" target="_blank" >RIV/27711170:_____/12:#0000029 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Prototyp řídícího systému pro vertikální PECVD pec
Original language description
Byl vyvinut řídící systém pro řízení a kontrolu technologického procesu ve vertikálním PECVD reaktoru. V rámci technologického procesu systém řídí regulaci teploty, průtoky plynů v jednotlivých technologických krocích, zapálení a hoření plazmatického výboje a úřoveň vakua.
Czech name
Prototyp řídícího systému pro vertikální PECVD pec
Czech description
Byl vyvinut řídící systém pro řízení a kontrolu technologického procesu ve vertikálním PECVD reaktoru. V rámci technologického procesu systém řídí regulaci teploty, průtoky plynů v jednotlivých technologických krocích, zapálení a hoření plazmatického výboje a úřoveň vakua.

Project
<a href="/en/project/FR-TI1%2F619" target="_blank" >FR-TI1/619: *Technology Modification for Deposition of Passivation and Antireflective Coatings by the Method of PECVD for the Condition of Vertical Reactor</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2012
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID
SV-Con-PECVD-2012
Numerical identification
—
Technical parameters
Řídící systém umožňuje regulovat technologický proces v rámci následujících parametrů. Řízení teploty - překmit 0,2°C, čas stabilizace (pro ?T < 0,5 ?C) T = 4 min, procesní teplotní stabilita ?T ? 0,1 ?C. Řízení průtoků plynů v každém technologickém kroku ? 1ml/min-1000l/min. Zapálení výboje a řízení hoření plazmy ? kontinuální i střídavý výboj, automatická regulace odraženého výkonu. Řízení vakua v jednotkách mTorr. Výsledek byl vyzkoušen a ověřen pro zavedení do výroby. Výsledek je využíván pouze příjemcem dle smlouvy O Využití výsledků výzkumu a vývoje č. 2012/FR-TI1/619 ze dne 28.12.2012 uzavřené s MPO. Kontaktní osoba Bc. Zuzana Andrisová, 775 757 201, zandrisova@svcs.cz
Economical parameters
Řídící systém je nedílnou součástí vyvinuté vertikální PECVD pece. Jeho samostatná komercionalizace se v současné době nepředpokládá.
Application category by cost
—
Owner IČO
27711170
Owner name
SVCS Process Innovation s.r.o.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licence fee requirement
—
Web page
—

Similar results(10)