Spektrometrický systém s RGA

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F28605837%3A_____%2F24%3AN0000005" target="_blank" >RIV/28605837:_____/24:N0000005 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Spektrometrický systém s RGA

Original language description

Spektrometr RGA s detekčním rozsahem 100 AMU, integrovatelný do vakuové komory spojené s metodou LIBS nebo jinou metodou využívající hluboké vakuum a zdroj laserového záření. Softwarově integrovatelný do nadřazeného řídícího systému. Analýza zůstatkových plynů (RGA) je spektroskopická technika využívaná k monitorování kontaminace vakua. Systémy RGA se často používají ve vysokovakuových aplikacích, jako jsou výzkumné komory, urychlovače a skenovací mikroskopy. Tato metoda funguje na principu hmotnostní analýzy molekul plynů, které procházejí kvadrupólovou sondou. Hmotnost molekuly je určena na základě napětí aplikovaného na elektrody sondy a času, který molekula potřebuje k průchodu sondou a dopadu na detektor. Pro analýzu zůstatkových plynů v komoře je do vakuového systému zakomponován model RGA100(100) od společnosti Stanford Research Systems.

Czech name

—

Czech description

—

Type

G_funk - Functional sample

CEP classification

—

OECD FORD branch

20501 - Materials engineering

Project

<a href="/en/project/FW06010042" target="_blank" >FW06010042: Research and development of an advanced interaction vacuum system for laser spectroscopy</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2024

Confidentiality

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Internal product ID

FW06010042-V6

Numerical identification

—

Technical parameters

Pro analýzu zůstatkových plynů v komoře je do vakuového systému zakomponován model RGA100(100) od společnosti Stanford Research Systems. Číselné označení modelů koresponduje s maximální měřitelnou hmotností zůstatkových molekul. Ve vyvinutém systému je možné naměřit molekuly s maximální hmotností 100 amu. RGA analýza vyžaduje minimální hodnotu vakua v řádech 10-4 mbar. RGA100 obsahuje komplexní systém sestávající se z: kvadrupólové sondy, elektronické kontrolní jednotky a Windows programu, umožňující uživateli v reálném čase sběr a vyhodnocování spekter, a také nastavování parametrů kvadrupólové sondy. K dispozici jsou dva různé typy detektorů: Faradayův kalíšek (Faraday cup – FC) a Elektronový násobič (Electron multiplier – EM). V závislosti na zvoleném detektoru je operační rozsah RGA zařízení od 10-4 Torr do 5x10-11 Torr pro FC a od 10-6 Torr do 5x10-14 Torr pro EM. Pro účely projektu byl vybrán RGA100 systém s elektronovým násobičem. Maximální operační teplota sondy je 70 °C, maximální teplota vypékání je 300 °C. Zařízení komunikuje s počítačem skrze rozhraní RS-232 C. RGA systém je napájen jednosměrným napětím 24 V, přičemž proud nesmí přesáhnout hodnotu 2,5A.

Economical parameters

Spektrometrický systém s RGA najde uplatnění při prokazování přesného složení okolní atmosféry nad vzorkem až do hmotnosti 100 AMU. Systém bude dále možno využít pro měření specifikckých reakcí, rekombinací nebo simulaci stárnutí materiálů vystavených laserovému záření. S ohledem na použití ve vakuové technice bude tento systém využit pro servisní účely (vypékání aparatury) a také při automatizované detekci netěsností.

Application category by cost

—

Owner IČO

28605837

Owner name

Activair

Owner country

CZ - CZECH REPUBLIC

Usage type

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licence fee requirement

A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

Web page

—