Diagnostics of low temperature plasma by refractional methods.

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F06%3A%400000030" target="_blank" >RIV/46747885:24210/06:@0000030 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Diagnostics of low temperature plasma by refractional methods.

Original language description

"Plasma - chemical processes, e.g. during deposition of thin films, arein addition to electron and ion states also influenced by the state ofneutral gas. Visualization of density inhomogeneities can be performedby refractional methods. Quantitative analysis of such images is complicated as the refraction depends on partial derivatives of refractive index. As a first step in attempt to estimate some gas or plasma parameters related to the refractive index we formulated equations enabling effective computer modeling of such images and along with them derived inversion formulas based on the Abel transformation for cylindrically symmetric transparent objects. The inverse Abel transformation cannot be applied directly as partial derivatives of the refractive index break its radial symmetry. Based on the derived formulas we have developed a code modeling images for defined inner conditions of plasma.Keywords: plasma diagnostics; refractional methods; schlier; Abel transformation"

Czech name

Diagnostika nízkoteplotní plazmy refrakční metodou.

Czech description

Plazmochemické procesy např. během vylučování tenkých filmů jsou velde uíontového a elektronobvého stavu též ovlivněny stavem neutrálního plynu. Vizualizaci hustoty nehomogenit lze provést refrakčními metodami. Kvantitaivní analýza takových obrazů je komlipovaná, jelikož refrakce závisí na parciální derivaci indexu lomu. Jako první krok při snaze vyšetřit některé parametry plynu a plazmy ve vztahu k indexu lomu jsme formulovali rovniceumožňující účinné počítačové modelování takových obrazů od ních odvozených inverzních vzorců založených na Abelocě transformaci pro válcověsouměrné transparentní objekty. Inverzní Abelova transformace nemůže být použita přímo, jelikož parciální derivace zlomu indexu lomu je radiálně souměrná.Na základě odvozených vzorců byly vyvinuty kódové modelové obrazy pro definované vnitřní podmínky plazmy.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

JK - Corrosion and material surfaces

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/GA202%2F05%2F2242" target="_blank" >GA202/05/2242: Investigation of new low temperature atmospheric pressure plasma sources for deposition of thin films</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2006

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Czechoslovak Journal of Physics

ISSN

0011-4626

e-ISSN

—

Volume of the periodical

5

Issue of the periodical within the volume

B

Country of publishing house

CZ - CZECH REPUBLIC

Number of pages

7

Pages from-to

644-650

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—