Preapration of titanium dioxide layers by PECVD.

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F07%3A%40KMT0119" target="_blank" >RIV/46747885:24210/07:@KMT0119 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Příprava vrstev oxidu titanu metodou PECVD.
Original language description
Vrstvy byly nanášeny v nízkotlakém planárním reaktor s kapacitně vázaným vysokofrekvenčním (RF) výbojem s frekvencí 13,56 MHz. Zdrojem titanu byly páry prekurzoru TitaniumIVisopropoxide, dále jen TTIP, vytvářené ve výparníku s kapalinovým ohřevem.
Czech name
Příprava vrstev oxidu titanu metodou PECVD.
Czech description
Vrstvy byly nanášeny v nízkotlakém planárním reaktor s kapacitně vázaným vysokofrekvenčním (RF) výbojem s frekvencí 13,56 MHz. Zdrojem titanu byly páry prekurzoru TitaniumIVisopropoxide, dále jen TTIP, vytvářené ve výparníku s kapalinovým ohřevem.

Project
<a href="/en/project/1M0577" target="_blank" >1M0577: Research centre for nanostructures engineering</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
KRÝSA, J. (ed.). Nanomateriály a fotokatalýza : Sborník příspěvků - 1. seminář výzkumného centra NANOPIN.
ISBN
978-80-7080-005-8
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
2
Pages from-to
27-28
Publisher name
VŠCHT
Place of publication
Praha
Event location
Praha
Event date
May 9, 2007
Type of event by nationality
CST - Celostátní akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)