The influence of annealing on the M/TiO2 thin films deposited by magnetron sputtering.

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F08%3A%230000406" target="_blank" >RIV/46747885:24210/08:#0000406 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

The influence of annealing on the M/TiO2 thin films deposited by magnetron sputtering.

Original language description

The aim of this study is influence of the annealing on properties of metal-doped titanium dioxide (M/TiO2) thin films deposited by dc reactive magnetron sputtering and doped by silver, copper and gold. The as-deposited M/TiO2 films are amorphous. As is well known from literature, the highest photocatalytic efficiency was observed on the crystalline films with anatase structure[1]. This anatase structure is formed using high temperature of the substrate during deposition or post-annealing. To support crystallization we have annealed M/TiO2 films at 300°C during 1 hour. Crystalline structure of the films was observed by low angle XRD analysis. Optical properties were studied by UV/VIS spectrophotometry. The photocatalytic activity was evaluated from decomposition speed of aqueous solution of the Orange 7, exposed to UV light. A summarization of relations between as-deposited and annealed films properties, deposition parameters and photocatalytic activity was made.

Czech name

Vliv žíhání na tenké M/TiO2 filmy vyloučené magnetronovým naprašováním.

Czech description

Cílem této studie je vliv žíhání ns vlastnosti kovu dopovaného tenkými filmy oxidu titaničitého (M/TiO2) naneseného stejnosměrným reaktivním magnetronovým naprašováním a dopovaného stříbrem, mědí a zlatem. Nanesené M/TiO2 filmy jisou amorfní. Jak je známo z literatury, nejvyšší fotokatalytická účinnost byla pozorována na krystalických filmech se strukturou anatasu . Tato anatasová struktura se tvoří s použitím vysoké teploty substrátu během depozice nebo náslesdným žíháním. K podpoře krystalizace jsme žíhali M/TiO2 filmy při 300°C 1 hodinui. Krystalová struktura filmů byla pozorována nízkoúhlovou rentgenovou difrakční analýzou. Optické vlastnosti byly studovány UV/VIS spectrofotometrií. Fotokatalytická aktivita byla vyhodnocována z rychlosti rozkladu vodného roztoku Orange 7, vystavenému UV světlu. Byla prtovedena sumarizace vztahů mezi právě naneseným a vyžíhaným filmem, vlastnosti, parametry nanášení a fotokatalytická aktivita.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JK - Corrosion and material surfaces

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/1M0577" target="_blank" >1M0577: Research centre for nanostructures engineering</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2008

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

2-nd International Student Conference of Department of Material Science [CD-ROM].

ISBN

978-80-7372-393-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

6

Pages from-to

—

Publisher name

Technical University of Liberec

Place of publication

Liberec

Event location

Liberec

Event date

Jan 1, 2008

Type of event by nationality

CST - Celostátní akce

UT code for WoS article

—