Interferometric system for coordinate measurement
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F16%3AN0000002" target="_blank" >RIV/47677023:_____/16:N0000002 - isvavai.cz</a>
Alternative codes found
RIV/68081731:_____/16:00467060
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Interferometrický systém pro souřadnicové odměřování
Original language description
Předmětem výsledku je interferometrický systém pro velmi přesná odměřování polohy v souřadnicových systémech. Systém nalezne uplatnění především v nanotechnologiích, pro nanodiagnostiku, litografii, metrologickou elektronovou, nebo sondovou mikroskopii, ap. Základem je dvousvazkový interferometr pro měření v jedné ose odrazem od rovinného zrcadla. Interferometr využívá plně křemennou optiku s velmi dobrou teplotní stabilitou a spojováním prvků na optický kontakt. Řešení interferometrické jednotky je kompaktní s optovláknovým rozvodem světla a integrovaným detekčním systémem využívajícím optického homodynního principu. Použití více jednotek pro více měřicích os je umožněno výkonovou rezervou laseru a optovláknovým děličem s příslušným počtem výstupů, vše využívající optických vláken zachovávajících polarizaci. Zdrojem záření je kompaktní stabilizovaný Nd:YAG laser se zdvojnásobením vlnové délky. Systém disponuje kompenzací vlivu indexu lomu vzduchu nepřímou metodou vycházející z měření základních parametrů atmosféry.
Czech name
Interferometrický systém pro souřadnicové odměřování
Czech description
Předmětem výsledku je interferometrický systém pro velmi přesná odměřování polohy v souřadnicových systémech. Systém nalezne uplatnění především v nanotechnologiích, pro nanodiagnostiku, litografii, metrologickou elektronovou, nebo sondovou mikroskopii, ap. Základem je dvousvazkový interferometr pro měření v jedné ose odrazem od rovinného zrcadla. Interferometr využívá plně křemennou optiku s velmi dobrou teplotní stabilitou a spojováním prvků na optický kontakt. Řešení interferometrické jednotky je kompaktní s optovláknovým rozvodem světla a integrovaným detekčním systémem využívajícím optického homodynního principu. Použití více jednotek pro více měřicích os je umožněno výkonovou rezervou laseru a optovláknovým děličem s příslušným počtem výstupů, vše využívající optických vláken zachovávajících polarizaci. Zdrojem záření je kompaktní stabilizovaný Nd:YAG laser se zdvojnásobením vlnové délky. Systém disponuje kompenzací vlivu indexu lomu vzduchu nepřímou metodou vycházející z měření základních parametrů atmosféry.
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
BH - Optics, masers and lasers
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TA02010711" target="_blank" >TA02010711: Advanced interferometric systems for measurement in nanotechnology</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2016
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data specific for result type
Internal product ID
DP0001-2016-FV01
Numerical identification
APL-2016-03
Technical parameters
Pracovní vlnová délka: 532 nm, relativní stabilita vlnové délky zdroje: 10-8, rozlišení 130 pm, měření odrazem od: rovinného zrcadla, počet měřicích os: 1 až 6, kompenzace vlivu indexu lomu vzduchu: ano
Economical parameters
Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu a využívaný příjemcem. Kontakt: prof. Ing. Josef Lazar, Dr., joe@isibrno.cz
Application category by cost
—
Owner IČO
68081731
Owner name
Ústav přístrojové techniky Akademie věd ČR, v.v.i.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
—