Fabrication and optimalization of dielectric plasmonic metalenses

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F20%3AN0000003" target="_blank" >RIV/47677023:_____/20:N0000003 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Fabrication and optimalization of dielectric plasmonic metalenses
Original language description
An optical metasurface is composed of building blocks – nanostructures – which allow for control of the transmitted light with high spatial resolution and replication of the functionalities held by traditional optical components simultaneous to significant miniaturization of their absolute thickness. Plasmonic optical metasurfaces composed of metallic building blocks have limited possibilities in steering the phase of the light, which is transmitted through them and also, they suffer from losses caused by light absorption. Dielectric optical metasurfaces have no such limitations and generally show higher effectivity than their plasmonic alternatives – however, the fabrication of the dielectric building blocks is often challenging. To fabricate the dielectric optical metasurface with the functionality of a focusing lens, we first deposited the 550 nm thick layer of titanium dioxide on the transparent fused silica substrate using magnetron sputtering. This dielectric layer was subsequently transformed into the metasurface building blocks using the selective reactive ion etching through a chromium mask created with electron beam lithography.
Czech name
—
Czech description
—

Project
<a href="/en/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Center of electron and photonic optics</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2020
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Internal product ID
MEO_NCK-DP07_2020_GFUNK01
Numerical identification
—
Technical parameters
Fokusační čočka jako metapovrch byla navržena pro vlnovou délku 650 nm. Realizované stavební bloky tvoří válce z TiO2 o výšce 550 nm a průměru 100 nm a 175 nm. Tyto bloky tvoří alternující periodickou strukturu v podobě koncentrických mezikruží ve funkci spojné čočky.
Economical parameters
Výsledek bude sloužit jako základ návrhového a technologického postupu pro vývoj konkrétních dielektrických metapovrchů, které budou komerčně využívány jako 2D optické komponenty společností Meopta-optika s.r.o.
Application category by cost
—
Owner IČO
47677023
Owner name
Meopta - optika, s.r.o.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
—

Similar results(10)