Wavefront measurement of projection lithography optics by intensity scans

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F20%3AN0000005" target="_blank" >RIV/47677023:_____/20:N0000005 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Wavefront measurement of projection lithography optics by intensity scans
Original language description
Algorithms of phase retrieval technique from several intensity scans around focal point were finished and tested on numerical datasets with satisfying results. Comparison with existing metrology systems was performed to validate the methodology with positive results.
Czech name
—
Czech description
—

Project
<a href="/en/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Center of electron and photonic optics</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2020
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Internal product ID
MEO_NCK-DP09_2020_OT01
Numerical identification
OT
Technical parameters
Prvním krokem je vytvoření přesného difrakčního modelu PSF v rovinách detekce. Tyto roviny jsou vybrány na základě provedených numerických simulací optického systému s jeho nominálními hodnotami parametrů: vlnová délka λ , numerická apertura NA , velikost zdroje a použitý typ kamery (velikost pixelu). Výsledkem je analytický model PSF v několika rovinách. Druhým krokem je samotná rekonstrukce fáze metodou nelineární globální optimalizace. Je proveden hrubý odhad metodou RandomSearch, úprava modelu na systematickou chybu absolutní pozice kamery vůči ohniskové rovině měřeného objektivu. Při této operaci se minimalizuje hodnota rekonstruovaného Zernikeova koeficientu pro defokus. Finální rekonstrukce je provedena algoritmem Nelder-Mead.
Economical parameters
Technologie se používá pro výzkumné a výukové účely.
Application category by cost
—
Owner IČO
47677023
Owner name
Meopta - optika, s.r.o., Univerzita Palackého v Olomouci
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
—

Similar results(10)