Proved technology of fabrication of antireflection coating with high value of transmission at wavelengths 213 nm and 248 nm

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F20%3AN0000026" target="_blank" >RIV/47677023:_____/20:N0000026 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Ověřená technologie výroby antireflexních vrstev s vysokou propustností na vlnových délkách 213 nm a 248 nm
Original language description
Návrh a výroba antireflexních vrstev v hluboké ultrafialové oblasti na specifických vlnových délkách 213 nm a 248 nm za použití technologie elektronového napařování nízkoabsorpčního vysokoindexového materiálů Al2O3 a nízkoindexového materiálu SiO2.
Czech name
Ověřená technologie výroby antireflexních vrstev s vysokou propustností na vlnových délkách 213 nm a 248 nm
Czech description
Návrh a výroba antireflexních vrstev v hluboké ultrafialové oblasti na specifických vlnových délkách 213 nm a 248 nm za použití technologie elektronového napařování nízkoabsorpčního vysokoindexového materiálů Al2O3 a nízkoindexového materiálu SiO2.

Project
<a href="/en/project/FV40328" target="_blank" >FV40328: Realization of layered systems with required spectral dependencies of reflectance and transmittance in the middle ultraviolet spectral range</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2020
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Internal product ID
MEO_DP0026_2020_OT02
Numerical identification
—
Technical parameters
T> 99,8 % na vrstvu: R< 0,05 %, A < 0,1 % pro 248 nm; T> 98,5 % na vrstvu: R< 0,1 %, A < 0,1 % pro 213 nm;
Economical parameters
Bude využito při výrobě pro klíčové zákazníky v oblasti semicon průmyslu.
Application category by cost
—
Owner IČO
47677023
Owner name
Meopta - optika, s.r.o.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licence fee requirement
—
Web page
—

Similar results(10)