DMD wavefront sensor for laser beam characterization

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F21%3AN0000026" target="_blank" >RIV/47677023:_____/21:N0000026 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
DMD wavefront sensor for laser beam characterization
Original language description
A functional sample of custom DMD electronics for Hartmann like wavefront sensor has been modified to measure mode structure of the laser beam essential for DUV lithography where excimer lasers are used.
Czech name
—
Czech description
—

Project
<a href="/en/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Center of electron and photonic optics</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2021
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Internal product ID
MEO_NCK-DP09_2021_GFUNK3
Numerical identification
—
Technical parameters
Funkční vzorek TN01000008/5-V11 je modifikací funkčního TN01000008/05-V004 (Optimální DMD senzor vlnoplochy pro justáž optických systémů) z roku 2020. Nutné změny umožňují úplnou charakterizaci částečně prostorově koherentních laserových svazků, které jsou zásadní pro aplikace DUV litografie využívající excimerové lasery s nestabilním rezonátorem. DMD senzor vlnoplochy na bázi Hartmanova senzoru je schopný provádět rekonstrukci koherenční matice v diskrétních bodech.
Economical parameters
Zařízení je používáno pro výzkumné a výukové účely.
Application category by cost
—
Owner IČO
47677023
Owner name
Meopta - optika, s.r.o., Univerzita Palackého v Olomouci
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licence fee requirement
N - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
Web page
—

Similar results(10)