Verified technology of WFE measurement of optical systems at 193 nm

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F22%3AN0000004" target="_blank" >RIV/47677023:_____/22:N0000004 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Ověřená technologie měření kvality optických soustav na 193 nm
Original language description
Adaptace a ověření optických měřících metod detekce vlnoplochy na vlnové délce 193 nm pomocí Shack-Hartmannova senzoru.
Czech name
Ověřená technologie měření kvality optických soustav na 193 nm
Czech description
—

Project
<a href="/en/project/FW03010232" target="_blank" >FW03010232: Laser sources and optical systems metrology in DUV spectral range</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2022
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Internal product ID
MEO_DP0031_2022_OT03
Numerical identification
—
Technical parameters
Stanovení postupu a ověření měření vlnoplochy pomocí Shack-Hartmann detektoru na 193nm
Economical parameters
Bude použito ve výrobě.
Application category by cost
—
Owner IČO
47677023
Owner name
Meopta - optika, s.r.o.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
—

Result description