Compensated telecentric F-Theta projection objective for micromachining applications at 257 nm.

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F22%3AN0000019" target="_blank" >RIV/47677023:_____/22:N0000019 - isvavai.cz</a>
Alternative codes found
RIV/68081731:_____/22:00573585
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Compensated telecentric F-Theta projection objective for micromachining applications at 257 nm.
Original language description
Design, tolerancing and manufacturing solution of Telecentric F-theta objective with diffraction optical element for chromatic aberration correction in DUV spectral region and with resistant coatings for high power lasers systems. The final manufactured product from Meopta´s design and analysis phase will be used in ISI Brno for further testing of design functionality in micromachining applications.
Czech name
—
Czech description
—

Project
<a href="/en/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Center of electron and photonic optics</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2022
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Internal product ID
MEO_NCK-DP06_2022_GFUNK2
Numerical identification
—
Technical parameters
Výsledkem je design funkčního vzorku a funkční vzorek f-theta objektivu s difraktivním prvkem pro korekci chromatické aberace.
Economical parameters
Návrhem a realizací funkčního vzorku rozšiřujeme portfolio a know-how.
Application category by cost
—
Owner IČO
47677023, 68081731
Owner name
Meopta - optika, s.r.o., Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licence fee requirement
N - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
Web page
—

Similar results(10)