The Influence of Stripping on the Properties of Thin Layers

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23210%2F06%3A00000002" target="_blank" >RIV/49777513:23210/06:00000002 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Vliv strippingu tenkých vrstev na vlastnosti substrátu

Original language description

Tento článek není souhrnem výsledků experimentů autora, ale je jen rešerší dosažených výsledků ostatních odborníků a náhledem do analyzované oblasti strippingu tenkých vrstev. Uvedené výsledky jsou citacemi z literatury uvedené na konci příspěvku. Strippingem1 se rozumí odstranění staré vrstvy z již použitého nástroje před depozicí vrstvy nové. Tento proces probíhá tak, že nástroj je nejprve odpovlakován, poté přeostřen2 a znovu napovlakován. Stripping obvykle provádí stejný výrobce jako depozici, nutnost přeostření tak v sobě zahrnuje časové a finanční ztráty nutné k poslání nástrojů od depoziční firmy zpět k výrobci nástrojů. Finální naostřen

Czech name

Vliv strippingu tenkých vrstev na vlastnosti substrátu

Czech description

Tento článek není souhrnem výsledků experimentů autora, ale je jen rešerší dosažených výsledků ostatních odborníků a náhledem do analyzované oblasti strippingu tenkých vrstev. Uvedené výsledky jsou citacemi z literatury uvedené na konci příspěvku. Strippingem1 se rozumí odstranění staré vrstvy z již použitého nástroje před depozicí vrstvy nové. Tento proces probíhá tak, že nástroj je nejprve odpovlakován, poté přeostřen2 a znovu napovlakován. Stripping obvykle provádí stejný výrobce jako depozici, nutnost přeostření tak v sobě zahrnuje časové a finanční ztráty nutné k poslání nástrojů od depoziční firmy zpět k výrobci nástrojů. Finální naostřen

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JK - Corrosion and material surfaces

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/FI-IM2%2F054" target="_blank" >FI-IM2/054: *The development and implementation of production of new tools with utilization of the progressive nanofilms and sandwich thin films for tooling of the hard-cutting materials.</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2006

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Vrstvy a povlaky

ISBN

80-969310-2-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

5

Pages from-to

41-45

Publisher name

Digital graphic

Place of publication

Trenčín

Event location

Rožnov pod Radhoštěm

Event date

Jan 1, 2006

Type of event by nationality

EUR - Evropská akce

UT code for WoS article

—