Thermal characterization of tungsten thin films by pulsed photothermal radiometry

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F07%3A00000137" target="_blank" >RIV/49777513:23520/07:00000137 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Tepelná charakterizace wolframových tenkých vrstev pomocí pulzní fototepelné radiometrie
Original language description
Tepelná vodivost a tepelný odpor na rozhraní byly zajišťovány pro wolframové tenké vrstvy pomocí pulzní fototepelné radiometrie. Je popsán experimentální systém založený na nanosekundovém pulzním laseru a vysokorychlostním IR detektoru. Je popsána kalibrace IR detektoru. Experimentální systém umožňuje zkoumání kovových vrstev s mikronovou i podmikronovou tloušťkou. Zkoumané vrstvy byly deponovány pomocí magnetronového naprašování na železném substrátu použitím dvou rozdílných depozičních podmínek.
Czech name
Tepelná charakterizace wolframových tenkých vrstev pomocí pulzní fototepelné radiometrie
Czech description
Tepelná vodivost a tepelný odpor na rozhraní byly zajišťovány pro wolframové tenké vrstvy pomocí pulzní fototepelné radiometrie. Je popsán experimentální systém založený na nanosekundovém pulzním laseru a vysokorychlostním IR detektoru. Je popsána kalibrace IR detektoru. Experimentální systém umožňuje zkoumání kovových vrstev s mikronovou i podmikronovou tloušťkou. Zkoumané vrstvy byly deponovány pomocí magnetronového naprašování na železném substrátu použitím dvou rozdílných depozičních podmínek.

Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
BJ - Thermodynamics
OECD FORD branch
—

Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)