Hard a-Si3N4/MeNx nanocomposite coatings with high thermal stability and high oxidation resistance

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F07%3A00000335" target="_blank" >RIV/49777513:23520/07:00000335 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Hard a-Si3N4/MeNx nanocomposite coatings with high thermal stability and high oxidation resistance

Original language description

This article reports on a new class of amorphous a-Si3N4/MeNx nanocomposite coatings with a high content of Si3N4 phase; here Me=Zr, Ta, Mo and W. These nanocomposites exhibit high thermal stability against crystallization and high oxidation resistance if the metal Me incorporated in the nanocomposite is correctly selected. It was found that the Zr-Si-N film deposited on Si substrate exhibits no increase of the mass in thermogravimetric measurements performed in flowing air up to 1300°C, i.e. up to thetemperature that is the thermal limit for Si substrate but not for nanocomposite.

Czech name

Tvrdé nanokompozitní povlaky a-Si3N4/MeNx s vysokou teplotní stabilitou a oxidační odolností

Czech description

Studie se věnuje nové skupině amorfních nanokompozitních povlaků a-Si3N4/MeNx s vysokým (>50 obj.%) obsahem fáze Si3N4 (Me=Zr, Ta, Mo a W). Tyto nanokompozity vykazují vysokou (>1000°C) teplotní stabilitu zabraňující krystalizaci a vysokou (>1000°C) oxidační odolnost v případě, že je kov Me zabudovaný do nanokompozitu vhodně zvolený. Bylo zjištěno, že vrstva Zr-Si-N deponovaná na substrát Si(100) nevykazuje žádný nárůst hmotnosti (&#916;m=0) během termogravimetrického měření provedeného v tekoucím vzduchu až do teploty 1300°C, tj. až do teplotního limitu substrátu Si, což není teplotní limit nanokompozitu.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2007

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Solid State Phenomena

ISSN

1012-0394

e-ISSN

—

Volume of the periodical

—

Issue of the periodical within the volume

—

Country of publishing house

CH - SWITZERLAND

Number of pages

6

Pages from-to

31

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—