Thin films silicon for fotovoltaic applications: Influence of deposition conditions on the structure and microstructre

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F06%3A00000012" target="_blank" >RIV/49777513:23640/06:00000012 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

slovinština

Original language name

Tenkovrstvový kremík pre fotovoltaické aplikácie: vplyv depozičních podmienok na štruktúru a mikroštruktúru

Original language description

Príspevok podáva výsledky vyšetrovania technologickej série tenkých vrstiev hydrogenizovaného kremíka pripravených plazmatickou depozíciou z plynnej fázy (PECVD), diskusiu o vplyve zriedenia plazmy silanu vodíkom a o vplyve hrúbky vrstvy na štruktúru a optické vlastnosti vrstiev. Výsledky ukazujú, vplyv zriedenia je silnejší ako vplyv hrúbky vrstvy. Vo vrstvách s hrúbkou ~ 400 nm dochádza pri zriedení &#8805; 30 k vzniku polykryštalického kremíka s nanokryštalickými zrnami, s amorfnou fázou a pórmi. Podtouto hodnotou zriedenia vzniká očakávaný hraničný tzv. protokryštalický kremík. S rastúcim zriedením klesá koncentrácia vodíka a hustota vzoriek.

Czech name

Tenkovrstvý křemík pro fotovoltaické aplikace: vliv depozičních podmínek na strukturu a mikrostrukturu

Czech description

Příspěvek podává výsledky vyšetřování technologické série tenkých vrstev hydrogenizovaného křemíku připravených plazmatickou depozicí z plynné fáze (PECVD), diskuzi o vlivu zředění plazmy silanu vodíkem a o vlivu tloušťky vrstvy na struktúru, mikrostruktúru a optické vlastnosti vrstev. Výsledky ukazují, že vliv zředění je silnější než vliv tloušťky vrstvy. Ve vrstvách s tloušťkou ~ 400 nm dochází při zředění &#8805; 30 ke vzniku polykrystalického křemíku s nanokrystalickými zrny, s amorfní fází a póry.Pod touto hodnotou zředění vzniká očekávaný hraniční tzv. protokrystalický křemík. S rostoucím zředěním klesá koncentrace vo

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/1M06031" target="_blank" >1M06031: Materials and components for environment protection</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2006

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

2. Česká fotovoltaická konference

ISBN

80-239-7361-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

5

Pages from-to

33-37

Publisher name

Czech RE Agency

Place of publication

Rožnov pod Radhoštěm

Event location

Brno

Event date

Jan 1, 2006

Type of event by nationality

CST - Celostátní akce

UT code for WoS article

—