Structural and optical properties of a-Si:H thin films in multilayered structures

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F07%3A00000044" target="_blank" >RIV/49777513:23640/07:00000044 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Structural and optical properties of a-Si:H thin films in multilayered structures
Original language description
This paper is devoted to the investigation of structural and optical properties of a-Si:H thin films different in thickness, ordered in single and multi-layered structures deposited by PE CVD technique on corning glass 1733 and Si/SiO2 substrates with dilution 30.
Czech name
Strukturní a optické vlastnosti tenkých vrstev a-Si:H v multivrstvých strukturách
Czech description
Tento příspěvek je věnovaný vyšetřování strukturních a optických vlastností tenkých vrstev a-Si:H s různou tloušťkou v jednovrstvých a multivrstvých strukturách deponovaných metodou PECVD na skleněné a Si/SiO2 substráty se zředěním 30.

Project
<a href="/en/project/1M06031" target="_blank" >1M06031: Materials and components for environment protection</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Proceedings of the 13th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter
ISBN
978-80-8070-709-5
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
4
Pages from-to
109-112
Publisher name
University of Žilina
Place of publication
Žilina
Event location
Bystrá, Slovak Republic
Event date
Jan 1, 2007
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)