Thermodynamic prediction for MOCVD of Bi2SrNb2O9 layers
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60461373%3A22310%2F04%3A00011541" target="_blank" >RIV/60461373:22310/04:00011541 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Termodynamické předpoklady přípravy vrstev Bi2SrNb2O9 metodou MOCVD
Original language description
Směsný niobát Bi2SrNb2O9 (SBN) představuje vhodný materiál pro přípravu pamětí typu FeRAM. Tato práce je věnována termodynamickým předpokladům depozice vrstev SBN metodou MOCVD. Byl proveden podrobný termodynamický rozbor systému Bi-Sr-Nb-O-C-H-Ar metodou minimalizace celkové Gibbsovy energie. Při výpočtu rovnovážného složení bylo uvažováno 37 plynných a 24 pevných látek. Jelikož neexistují potřebné experimentální údaje, byla termodynamická data pro směsné oxidy odhadnuta. Výpočty byly provedeny pro obor teplot 400 - 800 oC, atmosférický a snížený tlak, pro různá počáteční složení plynné fáze. Na základě vypočtených výsledků je diskutovány relativní těkavost Bi, Sr a Nb a možnosti kontaminace připravovaných vrstev uhlíkem.
Czech name
Termodynamické předpoklady přípravy vrstev Bi2SrNb2O9 metodou MOCVD
Czech description
Směsný niobát Bi2SrNb2O9 (SBN) představuje vhodný materiál pro přípravu pamětí typu FeRAM. Tato práce je věnována termodynamickým předpokladům depozice vrstev SBN metodou MOCVD. Byl proveden podrobný termodynamický rozbor systému Bi-Sr-Nb-O-C-H-Ar metodou minimalizace celkové Gibbsovy energie. Při výpočtu rovnovážného složení bylo uvažováno 37 plynných a 24 pevných látek. Jelikož neexistují potřebné experimentální údaje, byla termodynamická data pro směsné oxidy odhadnuta. Výpočty byly provedeny pro obor teplot 400 - 800 oC, atmosférický a snížený tlak, pro různá počáteční složení plynné fáze. Na základě vypočtených výsledků je diskutovány relativní těkavost Bi, Sr a Nb a možnosti kontaminace připravovaných vrstev uhlíkem.
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
BJ - Thermodynamics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2004
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
Sborník Vrstvy a povlaky 2004
ISBN
80-968337-8-2
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
5
Pages from-to
167-171
Publisher name
Digital Graphic
Place of publication
Trenčín
Event location
Rožnov pod Radhoštěm
Event date
Oct 7, 2004
Type of event by nationality
CST - Celostátní akce
UT code for WoS article
—