All

What are you looking for?

All
Projects
Results
Organizations

Quick search

  • Projects supported by TA ČR
  • Excellent projects
  • Projects with the highest public support
  • Current projects

Smart search

  • That is how I find a specific +word
  • That is how I leave the -word out of the results
  • “That is how I can find the whole phrase”

Thermodynamic prediction for MOCVD of Bi2SrNb2O9 layers

The result's identifiers

  • Result code in IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60461373%3A22310%2F04%3A00011541" target="_blank" >RIV/60461373:22310/04:00011541 - isvavai.cz</a>

  • Result on the web

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternative languages

  • Result language

    čeština

  • Original language name

    Termodynamické předpoklady přípravy vrstev Bi2SrNb2O9 metodou MOCVD

  • Original language description

    Směsný niobát Bi2SrNb2O9 (SBN) představuje vhodný materiál pro přípravu pamětí typu FeRAM. Tato práce je věnována termodynamickým předpokladům depozice vrstev SBN metodou MOCVD. Byl proveden podrobný termodynamický rozbor systému Bi-Sr-Nb-O-C-H-Ar metodou minimalizace celkové Gibbsovy energie. Při výpočtu rovnovážného složení bylo uvažováno 37 plynných a 24 pevných látek. Jelikož neexistují potřebné experimentální údaje, byla termodynamická data pro směsné oxidy odhadnuta. Výpočty byly provedeny pro obor teplot 400 - 800 oC, atmosférický a snížený tlak, pro různá počáteční složení plynné fáze. Na základě vypočtených výsledků je diskutovány relativní těkavost Bi, Sr a Nb a možnosti kontaminace připravovaných vrstev uhlíkem.

  • Czech name

    Termodynamické předpoklady přípravy vrstev Bi2SrNb2O9 metodou MOCVD

  • Czech description

    Směsný niobát Bi2SrNb2O9 (SBN) představuje vhodný materiál pro přípravu pamětí typu FeRAM. Tato práce je věnována termodynamickým předpokladům depozice vrstev SBN metodou MOCVD. Byl proveden podrobný termodynamický rozbor systému Bi-Sr-Nb-O-C-H-Ar metodou minimalizace celkové Gibbsovy energie. Při výpočtu rovnovážného složení bylo uvažováno 37 plynných a 24 pevných látek. Jelikož neexistují potřebné experimentální údaje, byla termodynamická data pro směsné oxidy odhadnuta. Výpočty byly provedeny pro obor teplot 400 - 800 oC, atmosférický a snížený tlak, pro různá počáteční složení plynné fáze. Na základě vypočtených výsledků je diskutovány relativní těkavost Bi, Sr a Nb a možnosti kontaminace připravovaných vrstev uhlíkem.

Classification

  • Type

    D - Article in proceedings

  • CEP classification

    BJ - Thermodynamics

  • OECD FORD branch

Result continuities

  • Project

  • Continuities

    Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Others

  • Publication year

    2004

  • Confidentiality

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Data specific for result type

  • Article name in the collection

    Sborník Vrstvy a povlaky 2004

  • ISBN

    80-968337-8-2

  • ISSN

  • e-ISSN

  • Number of pages

    5

  • Pages from-to

    167-171

  • Publisher name

    Digital Graphic

  • Place of publication

    Trenčín

  • Event location

    Rožnov pod Radhoštěm

  • Event date

    Oct 7, 2004

  • Type of event by nationality

    CST - Celostátní akce

  • UT code for WoS article