ANNEALING OF THIN AU FILMS SPUTTERED ON POLYIMIDE AND POLYETHERETHERKETONE

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60461373%3A22310%2F16%3A43903753" target="_blank" >RIV/60461373:22310/16:43903753 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

ŽÍHÁNÍ TENKÝCH VRSTEV AU NAPRÁŠENÝCH NA POLYIMIDU A POLYETHERETHERKETONU

Original language description

Žíhání tenkých vrstev Au připravených metodou katodového naprašování na polymerních substrátech polyimidu (PI) a polyetheretherketonu (PEEK) bylo provedeno s cílem studovat vliv substrátu na transformaci jejich morfologie a případné slévání Au do nanoostrůvkovité struktury, tzv. "dewetting", který byl dříve pozorován na skleněných substrátech. Tepelná stabilita substrátů byla studována pomocí diferenční skenovací kalorimetrie. Bylo zjištěno, že substrát PI je stabilní až do 400oC, PEEK prochází krystalizaci při teplotě kolem 170oC a taje při teplotě zhruba 320oC. Byly proto zvoleny žíhací teploty 200oC a 300oC pro PEEK a PI, resp. Morfologie povrchu vzorků byla studována pomocí mikroskopie atomárních sil. Žíhání PEEK substrátu vede k významným změnám jeho povrchové struktury, dochází k dramatickému zvyšování povrchové drsnosti. Dostatečně tenká vrstva Au je pak rozdělena do ostrovů, tlustší vrstvy však překrývají strukturu substrátu. Žíhání Au vrstev na PI substrátu vede ke vzniku hrubších Au nanoostrovů s užší distribucí velikosti. UV-Vis absorpční spektra vykazují vzestup pásu povrchové plazmonové rezonance po žíhání, což dokládá tvorbu jednotné nanostruktury. Pás je nejvíce patrný u nejtenčích vrstev Au. Strukturní transformace nanovrstev byla rovněž potvrzena elektrokinetickou analýzou. Transformace povrchové struktury tenlých vrstev Au je řízena kinetickým dějem povrchové difuze. Protože depozice probíhá za poměrně nízkých teplot, je difuze atomů po povrchu během depozice omezená a vznikající struktura je nerovnovážná. Během post-depozičního žíhání pak dochází k urychlení povrchové difuze Au atomů a transformaci struktury blíže k termodynamické rovnováze, jež lze popsat Youngovou rovnicí.

Czech name

ŽÍHÁNÍ TENKÝCH VRSTEV AU NAPRÁŠENÝCH NA POLYIMIDU A POLYETHERETHERKETONU

Czech description

Žíhání tenkých vrstev Au připravených metodou katodového naprašování na polymerních substrátech polyimidu (PI) a polyetheretherketonu (PEEK) bylo provedeno s cílem studovat vliv substrátu na transformaci jejich morfologie a případné slévání Au do nanoostrůvkovité struktury, tzv. "dewetting", který byl dříve pozorován na skleněných substrátech. Tepelná stabilita substrátů byla studována pomocí diferenční skenovací kalorimetrie. Bylo zjištěno, že substrát PI je stabilní až do 400oC, PEEK prochází krystalizaci při teplotě kolem 170oC a taje při teplotě zhruba 320oC. Byly proto zvoleny žíhací teploty 200oC a 300oC pro PEEK a PI, resp. Morfologie povrchu vzorků byla studována pomocí mikroskopie atomárních sil. Žíhání PEEK substrátu vede k významným změnám jeho povrchové struktury, dochází k dramatickému zvyšování povrchové drsnosti. Dostatečně tenká vrstva Au je pak rozdělena do ostrovů, tlustší vrstvy však překrývají strukturu substrátu. Žíhání Au vrstev na PI substrátu vede ke vzniku hrubších Au nanoostrovů s užší distribucí velikosti. UV-Vis absorpční spektra vykazují vzestup pásu povrchové plazmonové rezonance po žíhání, což dokládá tvorbu jednotné nanostruktury. Pás je nejvíce patrný u nejtenčích vrstev Au. Strukturní transformace nanovrstev byla rovněž potvrzena elektrokinetickou analýzou. Transformace povrchové struktury tenlých vrstev Au je řízena kinetickým dějem povrchové difuze. Protože depozice probíhá za poměrně nízkých teplot, je difuze atomů po povrchu během depozice omezená a vznikající struktura je nerovnovážná. Během post-depozičního žíhání pak dochází k urychlení povrchové difuze Au atomů a transformaci struktury blíže k termodynamické rovnováze, jež lze popsat Youngovou rovnicí.

Type

O - Miscellaneous

CEP classification

JJ - Other materials

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/NV15-33018A" target="_blank" >NV15-33018A: Application of adipose tissue-derived stem cells obtained by liposuction in tissue engineering</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2016

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů