Verification technology for production of BDD semiconducting layers
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60461373%3A22330%2F18%3A43923927" target="_blank" >RIV/60461373:22330/18:43923927 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Ověřená technologie produkce polovodivých BDD vrstev
Original language description
K procesu optimalizace parametrů depozice borem dopované diamantové vrstvy za použití CVD technologie byly využity dva mikrovlnné plazmové CVD systémy dostupné na FZÚ: (1)-systém ASTeX 5010 od společnosti Seki Technotron, Japonsko, (2) - systém Leybold MW-LA-PECVD.
Czech name
Ověřená technologie produkce polovodivých BDD vrstev
Czech description
K procesu optimalizace parametrů depozice borem dopované diamantové vrstvy za použití CVD technologie byly využity dva mikrovlnné plazmové CVD systémy dostupné na FZÚ: (1)-systém ASTeX 5010 od společnosti Seki Technotron, Japonsko, (2) - systém Leybold MW-LA-PECVD.
Classification
Type
O - Miscellaneous
CEP classification
—
OECD FORD branch
21001 - Nano-materials (production and properties)
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TH02030874" target="_blank" >TH02030874: Novel impedimetric biosensors for real-time groundwaters monitoring of trace xenobiotic contamination: design and evaluation</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2018
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.