Vapour Pressure of Metalo-Organic Precursors

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60461373%3A22340%2F01%3A00004094" target="_blank" >RIV/60461373:22340/01:00004094 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Tlak nasycených par organokovových prekursorů
Original language description
Organokovové sloučeniny některých kovů (Ga, As, In, Al#) se používají pro přípravu sloučeninových polovodičů metodou MOVPE (Metal-Organic Vapour Phase Epitaxy). Při tomto procesu je nezbytná znalost tlaku nasycených par vstupujících organokovových sloučenin. Proto byla ve společném projektu s Oddělením polovodičů Fyzikálního ústavu AV ČR upravena statická aparatura na měření tlaku nasycených par těchto látek. Z důvodu vysoké reaktivity organokovových látek se vzdušným kyslíkem bylo nutné zabránit stykuměřených látek s atmosférou v každém kroku měření. Aparatura pracuje v rozsahu teplot -40°C až 200°C a v tlakovém rozmezí 0,1 až 1300 Pa (tlakoměr MKS). Pomocí dalšího diferenčního tlakoměru (Rosemount) lze provádět měření až do hodnot atmosférického tlaku.
Czech name
Tlak nasycených par organokovových prekursorů
Czech description
—

Publication year
2001
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Sborník příspěvků z konference Termodynamika 2001 (CD-ROM)
ISBN
80-86238-17-2
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
17
Pages from-to
94-110
Publisher name
Ústav fyzikální chemie-VŠCHT
Place of publication
Praha, ČR
Event location
Brejlov, ČR
Event date
Sep 13, 2001
Type of event by nationality
CST - Celostátní akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)