Sensor platform for SAW applications
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60461373%3A22340%2F24%3A43931261" target="_blank" >RIV/60461373:22340/24:43931261 - isvavai.cz</a>
Result on the web
<a href="https://www.tesla-blatna.cz/fe/files/funds/FW10010057-V1_funkcni_vzorek.pdf" target="_blank" >https://www.tesla-blatna.cz/fe/files/funds/FW10010057-V1_funkcni_vzorek.pdf</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Senzorová platforma pro SAW aplikace
Original language description
V souladu s platnou metodikou Úřadu vlády ČR je uplatňován funkční vzorek „Senzorová platforma pro SAW aplikace“. Funkční vzorek vznikl v přímé souvislosti s řešením projektu TAČR program Trend 10 FW10010057 „Vývoj senzorů pro detekci vodíku a oxidu uhelnatého v energetice a automobilovém průmyslu “. V rámci výzkumu byla na základě provedených simulací připravena technikou naprašování a litografii senzorová platforma využívající propagaci povrchové akustické vlny piezoelektrickým substrátem. Navrženou platformu je možné využít pro detekci plynných analytů v prostředí obsahujícím vodík a alkany. Při návrhu a realizaci byl brán zřetel i na možnost použití platformy v prostředí s tlakem až 8 bar. Využití SAW platformy umožní nový přístup ke konstrukci plynových senzorů s využitím nových citlivých nanovrstev. Senzorová platforma je tvořena systémem elektrod, kdy jedna dvojice elektrod slouží jako vysílač a druhá jako přijímač povrchové akustické vlny. Systém elektrod je připraven litografickou technikou na substrátu z monokrystalu křemene. Senzorová platforma je navržena tak, aby ji bylo možné využít pro měření koncentrace analytů v plynovodech. Planární elektrodová struktura z tenkých vrstev kovů: 70 nm zlata a 7nm adhezní vrstva nikl-chrom na piezoelektrickém substrátu 5x5 cm. Výroba SAW senzorové platformy probíhá tenkovrstvou technologií (naprašování tenkých vrstev, fotolitografie, chemické leptání kovů), technologie výroby umožňuje efektivní produkci s ohledem na reprodukovatelnost i náklady.
Czech name
Senzorová platforma pro SAW aplikace
Czech description
V souladu s platnou metodikou Úřadu vlády ČR je uplatňován funkční vzorek „Senzorová platforma pro SAW aplikace“. Funkční vzorek vznikl v přímé souvislosti s řešením projektu TAČR program Trend 10 FW10010057 „Vývoj senzorů pro detekci vodíku a oxidu uhelnatého v energetice a automobilovém průmyslu “. V rámci výzkumu byla na základě provedených simulací připravena technikou naprašování a litografii senzorová platforma využívající propagaci povrchové akustické vlny piezoelektrickým substrátem. Navrženou platformu je možné využít pro detekci plynných analytů v prostředí obsahujícím vodík a alkany. Při návrhu a realizaci byl brán zřetel i na možnost použití platformy v prostředí s tlakem až 8 bar. Využití SAW platformy umožní nový přístup ke konstrukci plynových senzorů s využitím nových citlivých nanovrstev. Senzorová platforma je tvořena systémem elektrod, kdy jedna dvojice elektrod slouží jako vysílač a druhá jako přijímač povrchové akustické vlny. Systém elektrod je připraven litografickou technikou na substrátu z monokrystalu křemene. Senzorová platforma je navržena tak, aby ji bylo možné využít pro měření koncentrace analytů v plynovodech. Planární elektrodová struktura z tenkých vrstev kovů: 70 nm zlata a 7nm adhezní vrstva nikl-chrom na piezoelektrickém substrátu 5x5 cm. Výroba SAW senzorové platformy probíhá tenkovrstvou technologií (naprašování tenkých vrstev, fotolitografie, chemické leptání kovů), technologie výroby umožňuje efektivní produkci s ohledem na reprodukovatelnost i náklady.
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
—
OECD FORD branch
20501 - Materials engineering
Result continuities
Project
<a href="/en/project/FW10010057" target="_blank" >FW10010057: Development of Sensors for Hydrogen and Carbon Monoxide Detection in the Energy and Automotive Industries</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2024
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
FW10010057 -V1
Numerical identification
1
Technical parameters
Planární elektrodová struktura z tenkých vrstev kovů: 70 nm zlata a 7nm adhezní vrstva nikl-chrom na piezoelektrickém substrátu 5x5 cm. Výroba SAW senzorové platformy probíhá tenkovrstvou technologií (naprašování tenkých vrstev, fotolitografie, chemické leptání kovů), technologie výroby umožňuje efektivní produkci s ohledem na reprodukovatelnost i náklady.
Economical parameters
Senzorová platforma je navržena tak, aby ji bylo možné využít pro měření koncentrace vodíku a alkanů v plynovodech.
Application category by cost
—
Owner IČO
00375306
Owner name
Tesla Blatná, a.s. (33,4%); VŠCHT Praha (33,3%); UFE AV ČR, v. v. i. (33,3%)
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licence fee requirement
—
Web page
https://www.tesla-blatna.cz/fe/files/funds/FW10010057-V1_funkcni_vzorek.pdf