RBS and AFM study of Ag and Au diffusion into PET foils influenced by plasma treatment

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389005%3A_____%2F06%3A00032380" target="_blank" >RIV/61389005:_____/06:00032380 - isvavai.cz</a>

Alternative codes found

RIV/44555601:13440/06:00003271 RIV/60461373:22310/06:00017499

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

RBS and AFM study of Ag and Au diffusion into PET foils influenced by plasma treatment

Original language description

Metallization of polymers is essential for their application in microelectronic elements and photonics devices. We performed a study of the diffusion of Ag and Au atoms in polyethyleneterephtalate (PET). Thin metal layers were deposited using the diode-sputtering technique on polymer foils at room temperature. Simultaneous post-deposition annealing and plasma treatment was used to induce metal/polymer intermixing. Concentration profiles of diffused metals were determined by Rutherford backscattering spectrometry (RBS) and diffusion coefficients were extracted. The influence of the plasma treatment on the surface morphology was studied using atomic force microscopy (AFM). Ag atoms exhibit deeper penetration into polymer structures after Ar plasma treatment than after Ar + O2 plasma treatment.

Czech name

RBS a AFM studie difůze Ag a Au do PET fólií indukované plasmatickou úpravou

Czech description

Metalizované polymery jsou velmi důležité pro aplikace v mikroelektronice a fotonice. Provedli jsme studii difůzní aktivity atomů Ag a Au v polymerních fóliích PET.Tenké vrstvy kovu byly nanášeny na polymerní substrát při pokojové teplotě diodovým naprašováním a následně žíhány a upravovány plasmatickým výbojem. Snahou bylo degradovat povrchovou vrstvu a umožnit promísení polymeru s kovovými částicemi. Hloubkové profily prvků byly zkoumány metodou Rutherfordovského zpětného rozptylu (RBS) a z nich bylyurčovány difůzní koeficienty. Změny morfologie povrchu matalizovaných polymerů vlivem plasmatu byla zkoumána AFM. Ag atomy vykazují větší promísení na rozhraní polymer kov po opracování v Ar plasmatu ve srovnání s Ar+O2 plasmatem. AFM ukazuje výrazné změny drsnosti a porosity zapříčiněné Ar+O2 plasmatem. Mobilita kovových atomů je výrazně ovlivňována především zvýšenou teplotou během plasmatické úpravy.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2006

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Surface and Interface Analysis

ISSN

0142-2421

e-ISSN

—

Volume of the periodical

38

Issue of the periodical within the volume

4

Country of publishing house

GB - UNITED KINGDOM

Number of pages

4

Pages from-to

335-338

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—