Composite SiOx/hydrocarbon plasma polymer films prepared by RF magnetron sputtering of SiO2 and polyimide

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389005%3A_____%2F07%3A00081736" target="_blank" >RIV/61389005:_____/07:00081736 - isvavai.cz</a>

Alternative codes found

RIV/00216208:11320/07:00004796

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Composite SiOx/hydrocarbon plasma polymer films prepared by RF magnetron sputtering of SiO2 and polyimide

Original language description

Preparation procedure and properties of composite SiOx/hydrocarbon plasma polymer films are described and discussed. The composite films have been prepared by RF sputtering in argon from two balanced magnetrons equipped with silica (SiO2) and polyimide (PI) targets. Morphology and composition of the composite films have been analysed by means of AFM, TEM, RBS/ERDA and FTIR. Wettability in terms of contact angle of water increases from 28 degrees to 46 degrees when the content of the SiOx component of the composite increases. Peculiar properties of the composite SiOx/hydrocarbon plasma polymer films are discussed with respect to their elemental composition and nature of chemical bonds created on the surface of the films.

Czech name

Kompositní vrstvy polymeru a SiOx připravené RF magnetronovým naprašováním SiO2 a polyimidu

Czech description

Příprava a vlastnosti kompozitních vrstev polymeru a SiOx připravené plasmatickou polymerizací jsou zde prezentovány. Vrstvy byly připraveny magnetronovým naprašováním v argonu ze dvou vyvážených magnetronů vybavených SiO2 a polyimidovým targetem. Morfologie a složení vrstev bylo analyzováno metodami AFM, TEM, RBS/ERDA a FTIR. Smáčivost ve smyslu měření kontaktního úhlu vody se zvyšuje z 28 na 46 °, pokud obsah SiOx v kompozitní vrstvě se zvyšuje. Zvláštní vlastnosti kompozitních vrstev SiOx/polymer jsou diskutovány vzhledem k jejich prvkovému složení a povaze jejich chemických vazeb vznikajících na povrchu deponované vrstvy.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2007

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Vacuum

ISSN

0042-207X

e-ISSN

—

Volume of the periodical

81

Issue of the periodical within the volume

7

Country of publishing house

GB - UNITED KINGDOM

Number of pages

8

Pages from-to

920-927

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—