Simulation of optical system of deposition controller
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389021%3A_____%2F13%3A00427433" target="_blank" >RIV/61389021:_____/13:00427433 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Simulace optické soustavy depozičního monitoru
Original language description
Zpráva popisuje výsledek modelování stávajícího vysílací a přijímací optické soustavy systému pro monitorování procesu vakuové depozice. Výsledek je diskutován s pozorovanými vlastnostmi systému, zejména chování pro různé vlnové délky a optická propustnost. Na základě analýzy je provedena matematická optimalizace nastavení komponent systému s cílem zlepšení výkonu a robustnosti.
Czech name
Simulace optické soustavy depozičního monitoru
Czech description
Zpráva popisuje výsledek modelování stávajícího vysílací a přijímací optické soustavy systému pro monitorování procesu vakuové depozice. Výsledek je diskutován s pozorovanými vlastnostmi systému, zejména chování pro různé vlnové délky a optická propustnost. Na základě analýzy je provedena matematická optimalizace nastavení komponent systému s cílem zlepšení výkonu a robustnosti.
Classification
Type
V<sub>souhrn</sub> - Summary research report
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
N - Vyzkumna aktivita podporovana z neverejnych zdroju
Others
Publication year
2013
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Number of pages
21
Place of publication
Turnov
Publisher/client name
—
Version
—