Method of extracting XUV and/or soft X-ray radiation from a chamber to vacuum and device for making the same

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389021%3A_____%2F15%3A00456026" target="_blank" >RIV/61389021:_____/15:00456026 - isvavai.cz</a>

Result on the web

<a href="http://isdv.upv.cz/portal/pls/portal/portlets.pts.det?xprim=1470640&lan=cs&s_majs=&s_puvo=&s_naze=&s_anot=" target="_blank" >http://isdv.upv.cz/portal/pls/portal/portlets.pts.det?xprim=1470640&lan=cs&s_majs=&s_puvo=&s_naze=&s_anot=</a>

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Zařízení pro vyvedení XUV a/nebo měkkého rentgenového záření z komory do vakua a způsob provedení tohoto procesu

Original language description

Řešení se týká zařízení a způsobu vyvedení XUV a/nebo měkkého rtg záření z komory naplněné kapalinou do vakua, při kterém se využívá exploze kovového drátku uloženého vakuotěsně v dielektrické zátce a připojeného v komoře k vysokonapěťové elektrodě a v evakuovaném prostoru k zemnicí elektrodě. Komora a evakuovaný prostor jsou od sebe oddělené dělicí stěnou, v níž je vakuotěsně uložená dielektrická zátka. Po přivedení VN impulzu na vysokonapěťovou elektrodu protéká mezi vysokonapěťovou elektrodou a zemníelektrodou elektrický proud, který drátek roztaví, vypaří a zionizuje a vytvoří tak kanál naplněný horkým, hustým plazmatem generujícím intenzivní XUV a/nebo měkké rtg záření šířící se do evakuovaného prostoru. Kanál s kapalnými stěnami jak v komoře naplněné kapalinou, tak v dielektrické zátce po skončení proudového pulzu zaniká, tavenina stěn otvoru v dielektrické zátce otvor uzavírá a chladne, a tím opět vakuotěsně odděluje komoru naplněnou kapalinou od evakuovaného prostoru

Czech name

Zařízení pro vyvedení XUV a/nebo měkkého rentgenového záření z komory do vakua a způsob provedení tohoto procesu

Czech description

Řešení se týká zařízení a způsobu vyvedení XUV a/nebo měkkého rtg záření z komory naplněné kapalinou do vakua, při kterém se využívá exploze kovového drátku uloženého vakuotěsně v dielektrické zátce a připojeného v komoře k vysokonapěťové elektrodě a v evakuovaném prostoru k zemnicí elektrodě. Komora a evakuovaný prostor jsou od sebe oddělené dělicí stěnou, v níž je vakuotěsně uložená dielektrická zátka. Po přivedení VN impulzu na vysokonapěťovou elektrodu protéká mezi vysokonapěťovou elektrodou a zemníelektrodou elektrický proud, který drátek roztaví, vypaří a zionizuje a vytvoří tak kanál naplněný horkým, hustým plazmatem generujícím intenzivní XUV a/nebo měkké rtg záření šířící se do evakuovaného prostoru. Kanál s kapalnými stěnami jak v komoře naplněné kapalinou, tak v dielektrické zátce po skončení proudového pulzu zaniká, tavenina stěn otvoru v dielektrické zátce otvor uzavírá a chladne, a tím opět vakuotěsně odděluje komoru naplněnou kapalinou od evakuovaného prostoru

Type

P - Patent

CEP classification

BH - Optics, masers and lasers

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Publication year

2015

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Patent/design ID

305364

Publisher

CZ001 -

Publisher name

Industrial Property Office

Place of publication

Prague

Publication country

CZ - CZECH REPUBLIC

Date of acceptance

Jul 8, 2015

Owner name

Ústav fyziky plazmatu Akademie věd České republiky, v. v. i

Method of use

A - Výsledek využívá pouze poskytovatel

Usage type

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence