In-flight properties of tungsten particles in radiofrequency inductively coupled plasma torch

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389021%3A_____%2F18%3A00498181" target="_blank" >RIV/61389021:_____/18:00498181 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Měření teploty a rychlosti wolframových částic u systému s indukčně vázaným plazmatem

Original language description

Plazmové stříkání materiálů na bázi wolframu je náročný postup z důvodu velmi vysoké teploty tání wolframu a jeho vysoké náchylnosti k oxidaci. Povlaky z wolframu musí být proto ukládány vysokoteplotními systémy s řízenou atmosférou, kde je přístup kyslíku k částicím za letu a za horka omezen nebo v nejlepším případě zcela vynechán. V naší studii byl použit plazmový hořák TekSpray-15 s radiofrekvenční indukčně vázanou plazmou (RF-ICP) pro přípravu wolframových povlaků v Ar-H2 redukční atmosféře. Pro nalezení správných parametrů depozice bylo implementováno měření částic W za letu DPV 2000. Naměřené vlastnosti částic podél středové linie plazmy jsou prezentovány pomocí teplotních a rychlostních map, které korelují s morfologií povlaku získanou SEM pozorováním.

Czech name

Měření teploty a rychlosti wolframových částic u systému s indukčně vázaným plazmatem

Czech description

Plazmové stříkání materiálů na bázi wolframu je náročný postup z důvodu velmi vysoké teploty tání wolframu a jeho vysoké náchylnosti k oxidaci. Povlaky z wolframu musí být proto ukládány vysokoteplotními systémy s řízenou atmosférou, kde je přístup kyslíku k částicím za letu a za horka omezen nebo v nejlepším případě zcela vynechán. V naší studii byl použit plazmový hořák TekSpray-15 s radiofrekvenční indukčně vázanou plazmou (RF-ICP) pro přípravu wolframových povlaků v Ar-H2 redukční atmosféře. Pro nalezení správných parametrů depozice bylo implementováno měření částic W za letu DPV 2000. Naměřené vlastnosti částic podél středové linie plazmy jsou prezentovány pomocí teplotních a rychlostních map, které korelují s morfologií povlaku získanou SEM pozorováním.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

—

OECD FORD branch

20506 - Coating and films

Project

—

Continuities

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Publication year

2018

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Vrstvy a povlaky 2018

ISBN

978-80-972133-3-6

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

5

Pages from-to

—

Publisher name

M-Press

Place of publication

Trenčianska Teplá

Event location

Rožnov pod Radhoštěm

Event date

Oct 22, 2018

Type of event by nationality

EUR - Evropská akce

UT code for WoS article

—