Total internal reflection ellipsometry of periodic structures

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989100%3A27600%2F06%3A00013523" target="_blank" >RIV/61989100:27600/06:00013523 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Total internal reflection ellipsometry of periodic structures
Original language description
The theoretical model of the evanescent waves coupling with dielectric and metallic strip gratings is described. The interaction of electromagnetic field with lamellar periodic structures and their diffraction properties are determined by coupled wave method implemented as the Fourier modal method. The simulations of the ellipsometric response under internal reflection for different geometrical and material configurations are presented. The attention is concentrated on the study of coupling strength influence, effects connected with stripes geometry, and, with absorption in metallic elements of grating.
Czech name
Elipsometrie při úplném vnitřním odrazu od periodické struktury
Czech description
Je studován teoretický model vazby evanescentní vlny na dielektrické a metalické páskové mřížce. Interakce elektromagnetické vlny s periodickou strukturou je modelována metodou vázaných vln implementovanou jako Fourierova modální metoda. Jsou prezentovány simulace elipsometrické odezvy při různých geometrických a materiálových konfiguracích.

Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
BH - Optics, masers and lasers
OECD FORD branch
—

Project
Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Publication year
2006
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)