Plasma apparatus with nanocluster deposition source; description of the construction design, construction documentation; result no. TA04011156-2015V003
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989592%3A15310%2F15%3A33156241" target="_blank" >RIV/61989592:15310/15:33156241 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Plazmová aparatura s nanoklastrovým depozičním zdrojem; popis konstrukčního řešení, konstrukční dokumentace; výsledek č. TA04011156-2015V003
Original language description
Technická dokumentace k realizované plazmové aparatuře s nanoklastrovým depozičním zdrojem zahrnuje popis konstrukčního řešení včetně montážních postupů základní vakuové komory depozičního reaktoru, adaptérů pro různé typy vakuových přírub, otočného stolku s držákem substrátů pro teploty do 800 oC , konstrukční řešení optimalizované konfigurace depozičních magnetronů a nosného spojovacího systému. Pro depozici klastrů je na přírubě s magnetrony umístěna trubice s průtokem argonu a diafragmou.
Czech name
Plazmová aparatura s nanoklastrovým depozičním zdrojem; popis konstrukčního řešení, konstrukční dokumentace; výsledek č. TA04011156-2015V003
Czech description
Technická dokumentace k realizované plazmové aparatuře s nanoklastrovým depozičním zdrojem zahrnuje popis konstrukčního řešení včetně montážních postupů základní vakuové komory depozičního reaktoru, adaptérů pro různé typy vakuových přírub, otočného stolku s držákem substrátů pro teploty do 800 oC , konstrukční řešení optimalizované konfigurace depozičních magnetronů a nosného spojovacího systému. Pro depozici klastrů je na přírubě s magnetrony umístěna trubice s průtokem argonu a diafragmou.
Classification
Type
V<sub>souhrn</sub> - Summary research report
CEP classification
BH - Optics, masers and lasers
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TA04011156" target="_blank" >TA04011156: Functional thin film optical structures.</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2015
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data specific for result type
Number of pages
12
Place of publication
—
Publisher/client name
Technologická agentura České republiky
Version
—