Wavefront measurement of projection lithography optics by intensity scans

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989592%3A15310%2F20%3A73605189" target="_blank" >RIV/61989592:15310/20:73605189 - isvavai.cz</a>
Result on the web
<a href="https://obd.upol.cz/id_publ/333185075" target="_blank" >https://obd.upol.cz/id_publ/333185075</a>
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Měření aberací projekční litografické optiky pomocí metody intenzitních skenů
Original language description
Byla vyvinuta technologie rekonstrukce fáze pro účely měření kvality projekční optiky, zejména mikroskopových a litografických objektivů s vyššími numerickými aperturami. Navržené rekonstrukční algoritmy pokrývají širokou škálu numerických apertur (0 < NA < 0,5). Na dvou objektivech (NA=0.1 a NA=0.279) byla provedena srovnávací měření s využitím Shackova-Hartmannova senzoru vlnoplochy. Na základě dosažených hodnot je možné považovat technologii rekonstrukce fáze za ověřenou.
Czech name
Měření aberací projekční litografické optiky pomocí metody intenzitních skenů
Czech description
Byla vyvinuta technologie rekonstrukce fáze pro účely měření kvality projekční optiky, zejména mikroskopových a litografických objektivů s vyššími numerickými aperturami. Navržené rekonstrukční algoritmy pokrývají širokou škálu numerických apertur (0 < NA < 0,5). Na dvou objektivech (NA=0.1 a NA=0.279) byla provedena srovnávací měření s využitím Shackova-Hartmannova senzoru vlnoplochy. Na základě dosažených hodnot je možné považovat technologii rekonstrukce fáze za ověřenou.

Project
<a href="/en/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Center of electron and photonic optics</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2020
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Internal product ID
TN01000008_05_V001
Numerical identification
05-V001
Technical parameters
Prvním krokem je vytvoření přesného difrakčního modelu PSF v rovinách detekce. Tyto roviny jsou vybrány na základě provedených numerických simulací optického systému s jeho nominálními hodnotami parametrů: vlnová délka λ , numerická apertura NA , velikost zdroje a použitý typ kamery (velikost pixelu). Výsledkem je analytický model PSF v několika rovinách. Druhým krokem je samotná rekonstrukce fáze metodou nelineární globální optimalizace. Je proveden hrubý odhad metodou RandomSearch, úprava modelu na systematickou chybu absolutní pozice kamery vůči ohniskové rovině měřeného objektivu. Při této operaci se minimalizuje hodnota rekonstruovaného Zernikeova koeficientu pro defokus. Finální rekonstrukce je provedena algoritmem Nelder-Mead
Economical parameters
Technologie je používána pro výzkumné a výukové účely.
Application category by cost
—
Owner IČO
61989592
Owner name
Meopta-optika, s.r.o., Univerzita Palackého v Olomouci
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
https://obd.upol.cz/id_publ/333185075

Similar results(10)