High-frequency system of controlled ion bombardment of thick dielectric substrates (optical glasses) for deposition of semiconducting and dielectric optical layers and multilayers with augmented adhesion - Protective optical layer based on HfO2 with high adhesion and resistance designed for a composite system of highly reflective layers with an amplifying lamella for the near UV region of the optical spectrum
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989592%3A15310%2F21%3A73609331" target="_blank" >RIV/61989592:15310/21:73609331 - isvavai.cz</a>
Result on the web
<a href="https://obd.upol.cz/id_publ/333189217" target="_blank" >https://obd.upol.cz/id_publ/333189217</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Vysokofrekvenční systém řízeného iontového bombardování tlustého dielektrického substrátu (optického skla) určený pro depozici polovodivých a dielektrických optických vrstev a vícevrstvých struktur s vysokou adhezí. Ochranná optická vrstva na bázi HfO2 s vysokou adhezí a odolností určená pro kompozitní systém vysoko reflexních vrstev se zesilovací lamelou pro blízkou UV oblast optického spektra
Original language description
V rámci projektu TAČR jsme vyvinuli tenkou ochrannou optickou vrstvu se zesilovací lamelou z oxidu hafnia, která má vysokou odolnost, adhezi a plošnou homogenitu parametrů. Vrstva je primárně určena pro systémy vysoce reflexních optických vrstev pracující v blízké oblasti UV spektra. Zvýšené adheze je dosaženo iontovým bombardováním při nanášení oxidu hafničitého na vícevrstevnou optickou tenkou vrstvu naladěnou na vysokou odraznost v oblasti 300-400 nm.
Czech name
Vysokofrekvenční systém řízeného iontového bombardování tlustého dielektrického substrátu (optického skla) určený pro depozici polovodivých a dielektrických optických vrstev a vícevrstvých struktur s vysokou adhezí. Ochranná optická vrstva na bázi HfO2 s vysokou adhezí a odolností určená pro kompozitní systém vysoko reflexních vrstev se zesilovací lamelou pro blízkou UV oblast optického spektra
Czech description
V rámci projektu TAČR jsme vyvinuli tenkou ochrannou optickou vrstvu se zesilovací lamelou z oxidu hafnia, která má vysokou odolnost, adhezi a plošnou homogenitu parametrů. Vrstva je primárně určena pro systémy vysoce reflexních optických vrstev pracující v blízké oblasti UV spektra. Zvýšené adheze je dosaženo iontovým bombardováním při nanášení oxidu hafničitého na vícevrstevnou optickou tenkou vrstvu naladěnou na vysokou odraznost v oblasti 300-400 nm.
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
—
OECD FORD branch
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TH03020196" target="_blank" >TH03020196: Advanced methods of preparation of thin film structured systems for optical applications</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2021
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
FV41/SLO/2021 UPOL
Numerical identification
FV41/SLO/2021 UPOL
Technical parameters
Oblast odraznost >90 % 290 – 520 nm Oblast odraznosti >92 % 300 – 470 nm Nejvyšší odraznost 94 % @ 350 nm Tvrdost krycí vrstvy 6,5 GPa Technika depozice PVD, pokojová teplota
Economical parameters
Reflexní vrstva pro zrcadlové systémy v blízké oblasti UV spektra.
Application category by cost
—
Owner IČO
61989592
Owner name
Univerzita Palackého v Olomouci
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
https://obd.upol.cz/id_publ/333189217