DMD wavefront sensor for laser beam characterization
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989592%3A15310%2F21%3A73610938" target="_blank" >RIV/61989592:15310/21:73610938 - isvavai.cz</a>
Result on the web
<a href="https://obd.upol.cz/id_publ/333190825" target="_blank" >https://obd.upol.cz/id_publ/333190825</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
DMD senzor vlnoplochy pro charakterizaci laserových svazků
Original language description
DMD senzor vlnoplochy na principu Hartmannovy masky byl upraven tak, aby měřil modovou strukturu laserového svazku, která je zásadní pro DUV litografii, kde se používají excimerové lasery.
Czech name
DMD senzor vlnoplochy pro charakterizaci laserových svazků
Czech description
DMD senzor vlnoplochy na principu Hartmannovy masky byl upraven tak, aby měřil modovou strukturu laserového svazku, která je zásadní pro DUV litografii, kde se používají excimerové lasery.
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
—
OECD FORD branch
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Center of electron and photonic optics</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2021
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
TN01000008/5-V011
Numerical identification
5-V011
Technical parameters
Funkční vzorek TN01000008/5-V11 je modifikací funkčního TN01000008/05-V004 (Optimální DMD senzor vlnoplochy pro justáž optických systémů) z roku 2020. Nutné změny umožňují úplnou charakterizaci částečně prostorově koherentních laserových svazků, které jsou zásadní pro aplikace DUV litografie využívající excimerové lasery s nestabilním rezonátorem. DMD senzor vlnoplochy na bázi Hartmanova senzoru je schopný provádět rekonstrukci koherenční matice v diskrétních bodech.
Economical parameters
Zařízení je používáno pro výzkumné a výukové účely.
Application category by cost
—
Owner IČO
61989592
Owner name
Meopta – optika, s.r.o., Univerzita Palackého v Olomouci
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
https://obd.upol.cz/id_publ/333190825