Measurement of mechanical properties of NbOx, NbZrOx, TiOx a TiOZrOx multiplayer thin films.
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989592%3A15310%2F23%3A73621993" target="_blank" >RIV/61989592:15310/23:73621993 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Measurement of mechanical properties of NbOx, NbZrOx, TiOx a TiOZrOx multiplayer thin films.
Original language description
The report deals with local mechanical testing of NbOx, NbZrOx, TiOx and TiOZrOx multilayer thin films on a glass substrates. The indentation hardness and reduced modulus were measured using an instrumented indentation test. The adhesion-cohesion properties were studied by scratch test and wear scratch test.
Czech name
—
Czech description
—
Classification
Type
V<sub>souhrn</sub> - Summary research report
CEP classification
—
OECD FORD branch
20501 - Materials engineering
Result continuities
Project
—
Continuities
N - Vyzkumna aktivita podporovana z neverejnych zdroju
Others
Publication year
2023
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data specific for result type
Number of pages
68
Place of publication
—
Publisher/client name
Türkiye Şişe ve Cam Fabrikaları A.Ş., Istanbul
Version
—