Accurate FOFEM computations and ray tracing in particle optics

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F04%3A00100004" target="_blank" >RIV/68081731:_____/04:00100004 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Accurate FOFEM computations and ray tracing in particle optics
Original language description
It is shown that accurate 2D FOFEM programs developed in our institute are available for computations of lenses, deflection systems and correcting multipoles. With some limitations we calculate also spectrometers or detectors. High accuracy of computed potential allows the evaluation of aberrations from accurate ray tracing. Application of the software will be shown on the design of a low voltage electrostatic SEM with cathode lens and Wien filter, intended for detection of angular and energy distribution of low energy electrons
Czech name
Přesné výpočty pomocí MKP prvního řádu a trasování částic v částicové optice
Czech description
Ukazuje se, že přesné programy pro MKP prvního řádu ve dvou rozměrech, vyvinuté v našem ústavu, dovolují výpočet čoček, vychylovacích systémů a korekčních multipólů. S jistými omezeními počítáme i spektrometry a detektory. Vysoká přesnost spočteného potenciálu dovoluje určit vady z přesně trasovaných částic. Použití programů bude ilustrováno na návrhu nízkovoltového elektrostatického rastrovacího elektronového mikroskopu s katodovou čočkou a Wienovým filtrem, který je určen pro detekci úhlového a energiového rozložení nízkoenergiových elektronů

Project
<a href="/en/project/GA202%2F03%2F1575" target="_blank" >GA202/03/1575: Acquisition of image in the low energy scanning electron microscope via detection of the angular distribution of signal electrons</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2004
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Electron Microscopy and Analysis 2003: Proceedings of the Institute of Physics Electron Microscopy and Analysis Group Conference (Ser. No. 179)
ISBN
0-750-30967-9
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
4
Pages from-to
169-172
Publisher name
Institute of Physics
Place of publication
Oxford
Event location
Oxford
Event date
Sep 3, 2003
Type of event by nationality
CST - Celostátní akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)