Economical helium bath cryopump: design and testing

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F04%3A00100010" target="_blank" >RIV/68081731:_____/04:00100010 - isvavai.cz</a>

Alternative codes found

RIV/00216305:26210/04:PU50694

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Economical helium bath cryopump: design and testing

Original language description

A small UHV helium bath cryopump with low cryoliquid consumption has been designed, manufactured and tested. The cryopump is designed to keep UHV in electron optical devices without generation of disturbing electromagnetic fields or vibrations. The outervolume of its shell is 15l, the filling volumes of liquid helium (LHe) and liquid nitrogen (LN2) are 3.0 l and 3.4 l, respectively. Operating times between cryoliquid fillings are 35 days for LHe and 6 days for LN2. A pump speed of 25l/s was measured for the He gas. A lowest pressure of 1.5e-7 Pa was achieved in a test chamber and the pumping tests indicated that an even lower pressure would be achieved in a well-degassed chamber. Good agreement between the calculated and measured values both of the pump speed and the cryoliquid evaporation has been found. The system of chevron-type baffles was designed and checked by Monte Carlo simulations of molecular flow and radiative heat transfer

Czech name

Malá lázňová kryovývěva plněná kalným héliem

Czech description

Byla navržena, realizována a testována malá lázňová kryovývěva plněná kapalným héliem. Vývěva byla navržena pro udržování ultravysokého vakua v elektronově optických přístrojích aniž by byly vývěvou generovány vibrace a elektromagnetické pole, které by rušily experiment. Vnější objem vývěvy je 15 litrů, plnící objemy pro kapalné hélium a kapalný dusík jsou 3 litry a 3,4 litru. Provozní doba bez doplňování kryokapalin je 35 dnů pro kapalné He a 6 dnů pro kapalný dusík. Nejnižší dosažený tlak pomocí tétovývěvy činil 1,5e-7 a z prováděných testů lze usuzovat, že při dokonalejším odplynění testovací komory by bylo možné dosáhnout nižšího tlaku. Při čerpání hélia byla naměřena čerpací rychlost 25 litrů/s.Vypočtené hodnoty čerpací rychlosti a provozní dobybez doplňování kryokapalin dobře souhlasily s výsledky naměřenými na realizované vývěvě. Systém radiačních přepážek na vstupu do vývěvy byl navržen a testován pomocí simulací molekulárního proudění metodou Monte Carlo

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/GA101%2F00%2F0028" target="_blank" >GA101/00/0028: Helium cryopump for electronoptical devices</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2004

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Vacuum

ISSN

0042-207X

e-ISSN

—

Volume of the periodical

74

Issue of the periodical within the volume

1

Country of publishing house

GB - UNITED KINGDOM

Number of pages

7

Pages from-to

77-83

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—