Ultra-precise distance measurement for nanometrology

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F04%3A00109089" target="_blank" >RIV/68081731:_____/04:00109089 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Ultra-precise distance measurement for nanometrology
Original language description
We present experimental results achieved by a method of direct conversion of the relative changes of the measurement optical path of Michelson interferometer to relative changes of the resonant optical-frequency of Fabry-Perot (F.-P.) resonator. Thanks to ultra-precise determination of the optical frequency changes by means of laser frequency standard we are able to measure distance changes with sub-nanometer resolution. We developed this method for verification of scale-linearity of Michelson interferometer with total resolution 0.3 nm
Czech name
Vysoce přesná měření pro nanometrologii délek
Czech description
Představujeme experimentální výsledky dosažené naší metodou přímé transformace relativních změn délky měřicího ramene Michelsonova interferometru na relativní změny optické rezonanční frekvence Fabry-Perotova rezonátoru. Díky vysoce přesnému určení změnyoptické frekvence pomocí laserového standardu optických frekvencí jsme nyní schopni měřit tyto změny vzdáleností se subnanometrovým rozlišením. Tuto metodu jsme vyvinuli především pro ověření linearity našeho vysoce přesného Michelsonova interferometru,jehož rozlišení je 0,3 nm

Project
<a href="/en/project/IAA2065202" target="_blank" >IAA2065202: Frequency methods of geometrical quantities measurements</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2004
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Proceedings of SPIE - The International society for optical engineering. Optical Metrology in Production Engineering. (Vol. 5457)
ISBN
0-8194-5379-X
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
4
Pages from-to
22-25
Publisher name
SPIE
Place of publication
Strasbourg
Event location
Strasbourg
Event date
Apr 26, 2004
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)