The ionisation detector of the environmental scanning electron microscope
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F08%3A00322626" target="_blank" >RIV/68081731:_____/08:00322626 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Ionizační detektor environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu
Original language description
Základní filozofií ionizačního detektoru sekundárních elektronů s elektrostatickým separátorem (ISEDS) je optimalizace fyzikálního principu detekce signálních elektronů v podmínkách vysokého tlaku plynů EREM, při zachování vysokého podílu detekovaného signálu sekundárních elektronů s minimálním příspěvkem zpětně odražených elektronů. Vhodně situované elektrostatické pole separátoru ISEDS, nacházející se zejména nad a kolem pozorovaného vzorku, efektivně filtruje vysokoenergiové BSE a dovoluje detekci nízkoenergiových SE s vysokou selektivitou.
Czech name
Ionizační detektor environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu
Czech description
Základní filozofií ionizačního detektoru sekundárních elektronů s elektrostatickým separátorem (ISEDS) je optimalizace fyzikálního principu detekce signálních elektronů v podmínkách vysokého tlaku plynů EREM, při zachování vysokého podílu detekovaného signálu sekundárních elektronů s minimálním příspěvkem zpětně odražených elektronů. Vhodně situované elektrostatické pole separátoru ISEDS, nacházející se zejména nad a kolem pozorovaného vzorku, efektivně filtruje vysokoenergiové BSE a dovoluje detekci nízkoenergiových SE s vysokou selektivitou.
Classification
Type
P - Patent
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/KJB200650602" target="_blank" >KJB200650602: Detection system for the record of the pure secondary electrons or backscattered electrons signals in ESEM</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2008
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Patent/design ID
299864
Publisher
—
Publisher name
—
Place of publication
—
Publication country
—
Date of acceptance
Nov 5, 2008
Owner name
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i
Method of use
A - Výsledek využívá pouze poskytovatel
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence