Interferometric Displacement Measurement for Local Probe Microscopy

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F09%3A00325114" target="_blank" >RIV/68081731:_____/09:00325114 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Interferometric Displacement Measurement for Local Probe Microscopy
Original language description
In the contribution we present an interferometric displacement monitoring system for positioning of a sample stage for local probe microscopy. The arrangement is designed for metrology applications with direct link to fundamental etalon of length and monitoring of all six axes of freedom of motion. Active position of control is proposed.
Czech name
Interferometrické měření polohy pro mikroskopii s lokální sondou
Czech description
V příspěvku prezentujeme interferometrický monitorovací systém polohy pro odměřování a polohování vzorku pro mikroskopii s lokální sondou. Uspořádání je navrženo pro metrologické aplikace s přímou návazností na základní etalon délky a monitorování ve všech šesti osách volnosti. Je navrženo aktivní řízení polohy.

Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
BH - Optics, masers and lasers
OECD FORD branch
—

Project
Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2009
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)